[實用新型]一種利用四氯化硅生產(chǎn)三氯氫硅的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920174762.8
• 申請日: 2009-09-09
• 公開（公告）號: CN201485289U
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發(fā)明（設計）人: 朱國平;潘和平;夏進京;劉興國
• 申請（專利權(quán)）人: 重慶大全新能源有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長明

1.一種利用四氯化硅生產(chǎn)三氯氫硅的裝置，其特征在于，包括：

氫化爐，與氫化爐底部相連接的尾氣換熱器；

所述尾氣換熱器包括第一換熱段，第一換熱段包括外殼，外殼內(nèi)套有雙層套管，由外向內(nèi)逐次為第一套管和第二套管，第一套管的第一端與氫化爐內(nèi)部相連通，第二套管在尾氣換熱器與氫化爐相連接處的第一端設置朝向氫化爐內(nèi)部的噴嘴，外殼在氫化爐底部的第一端設置與第一端相連通的排出管。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述尾氣換熱器還包括第二換熱段，第二換熱段包括外殼，外殼內(nèi)套有一層套管，第一換熱段的外殼的第二端與第二換熱段的外殼的第一端相連通，第一換熱段的第一套管的第二端與第二換熱段的套管的第一端相連通；

所述裝置還包括蒸發(fā)器，所述蒸發(fā)器包括殼體，殼體上設有反應氣體進口、反應氣體出口、蒸汽進口、冷凝水出口、尾氣進口、尾氣出口，所述反應氣體出口與尾氣換熱器的第一換熱段的第二套管的第二端相連通，所述尾氣進口與尾氣換熱器的第二換熱段的套管的第二端相連，第二換熱段的外殼在靠近蒸發(fā)器處的第二端設置與第二端相通的管口；

所述殼體內(nèi)部包括連接蒸汽進口和冷凝水出口的蒸汽管路，連接尾氣進口與尾氣出口的尾氣管路。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述噴嘴的數(shù)量為4個～12個。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述噴嘴前后的壓差可以調(diào)節(jié)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述蒸汽管路為蛇型。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述尾氣管路為U型。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述尾氣換熱器采用不銹鋼316L材料。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述氫化爐包括發(fā)熱體、內(nèi)保溫罩、外保溫罩，均采用石墨或碳碳復合材料。