[實(shí)用新型]一種多晶太陽(yáng)能電池片的鏈?zhǔn)街平q的裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920173156.4
• 申請(qǐng)日: 2009-08-26
• 公開（公告）號(hào): CN201523023U
• 公開（公告）日: 2010-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫良欣;劉燁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京中聯(lián)科偉達(dá)技術(shù)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/20
• 分類號(hào): H01L31/20;C23F1/14
• 代理公司: 北京市商泰律師事務(wù)所 11255
• 代理人: 毛燕生

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及提高化學(xué)藥液濃度、溫度均勻性的一種多晶太陽(yáng)能電池片的鏈?zhǔn)街平q的裝置，為多晶太陽(yáng)能電池片的鏈?zhǔn)街平q工藝，屬于太陽(yáng)能電池片的加工制造領(lǐng)域。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的多晶太陽(yáng)能電池片的制造工藝中，制絨工藝是關(guān)鍵的一步，制絨的好壞直接關(guān)系到電池片的性能，其中對(duì)藥液的濃度、溫度均勻性的要求最為關(guān)鍵；傳統(tǒng)多晶鏈?zhǔn)街平q工藝采用藥液在槽體兩側(cè)溢流、藥液浸沒(méi)多晶硅片方式(如圖1、2所示)，在制絨槽內(nèi)，中部的藥液置換與其它部位的藥液不能同步進(jìn)行，造成藥液濃度、溫度的不均勻，無(wú)法控制Wafer的反應(yīng)速度，進(jìn)而影響制絨的效果。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)結(jié)構(gòu)的不足，本實(shí)用新型提供一種多晶太陽(yáng)能電池片的鏈?zhǔn)街平q的裝置，很好的解決了這一問(wèn)題。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：一種多晶太陽(yáng)能電池片的鏈?zhǔn)街平q的方法，含有以下步驟：

步驟1；采用槽體四面溢流方式，使得反應(yīng)后液體快速溢出；

步驟2；采用上噴淋方式；在藥液槽的上部，增加了一定數(shù)量的噴淋管，藥液由上部直接補(bǔ)充到硅片的周圍；這樣使藥液和硅片接觸更加充分，同時(shí)也使藥液溫度更有利于控制，保持均勻一致，改善制絨效果；

步驟3；采用槽體內(nèi)槽底部進(jìn)液，進(jìn)液口向下，并對(duì)進(jìn)液管路進(jìn)行處理，使藥液進(jìn)入內(nèi)槽后均勻的流向槽體的各部位，保證槽體內(nèi)部各部位溫度、濃度的均一性，

步驟4；控制調(diào)節(jié)流量，根據(jù)流量計(jì)的讀數(shù)，通過(guò)控制閥調(diào)整管路中液體的流量達(dá)到要求。

一種多晶太陽(yáng)能電池片的鏈?zhǔn)街平q的裝置，含有槽體，噴淋裝置，

槽體分為內(nèi)、外槽，進(jìn)液管路由槽體外部穿過(guò)內(nèi)槽槽體側(cè)板進(jìn)入內(nèi)槽槽體內(nèi)部空間，在進(jìn)液管路上鉆兩列小孔，兩列小孔在管路的圓周上成60°角分布，兩列小孔之間夾角朝向槽體底部。

內(nèi)槽的上部開有堰口，由進(jìn)液管進(jìn)入的液體，向上溢出堰口流到外槽內(nèi)，外槽底部開有回液口，回液口通過(guò)管路與藥液循環(huán)供給槽相連，靠重力使藥液流回藥液循環(huán)供給槽。

噴淋裝置包括噴淋管和流量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)兩部分；噴淋管由塑料管制成，在上面開有一定直徑和距離的孔；

流量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由流量計(jì)和控制閥組成：流量計(jì)與控制閥通過(guò)管路相連，根據(jù)流量計(jì)的讀數(shù)，通過(guò)控制閥調(diào)整管路中液體的流量達(dá)到要求。

本實(shí)用新型的有益效果：

1、溫度控制更容易，溫控精度達(dá)到±1℃以內(nèi)；

2、有效改善制絨效果，提高產(chǎn)品品質(zhì)，降低反射率，制絨后反射率達(dá)到20％以下。

本實(shí)用新型的槽體四面溢流，使得反應(yīng)后液體快速溢出；加了上噴淋方式，這樣使藥液和Wafer接觸更加充分，同時(shí)也使藥液溫度更有利于控制，保持均勻一致，改善制絨效果。

在原有的槽體兩面溢流的基礎(chǔ)上，為了加快藥液的流動(dòng)，并保證各流動(dòng)部分相對(duì)而言更加均勻流動(dòng)，在槽體的側(cè)面開出通道，這樣在槽體的中部藥液就不必流向兩端的堰口回到藥液供給箱，減少了中部反應(yīng)后的藥液流向槽體的兩端時(shí)對(duì)其它硅片的影響，盡量保證每一片硅片周圍的藥液是新的藥液，而不是剛反應(yīng)后的藥液，降低了反應(yīng)帶來(lái)的溫度升高，補(bǔ)充了反應(yīng)后藥液的損耗，更利于藥液的溫度、濃度的控制，保證藥液在硅片周圍的均一性，進(jìn)而保證制絨的均一性。

其次，為了進(jìn)一步保證硅片周圍藥液(特別是槽體中部的藥液)的溫度、濃度的均一性，在藥液槽的上部，增加了一定數(shù)量的噴淋管，藥液由上部直接補(bǔ)充到硅片的周圍。一個(gè)是新藥夜的補(bǔ)充降低了硅片反應(yīng)后大量放熱而造成的溫度增加，有利于溫度的恒定；另外，由于有新藥夜補(bǔ)充了反應(yīng)時(shí)藥液成分的消耗，有利于硅片周圍藥液濃度的恒定。

總之，采取上述方法后，進(jìn)一步加強(qiáng)了對(duì)藥液溫度、濃度均一性的控制，保證藥液溫度、濃度在要求的范圍內(nèi)變化，保證了制絨的效果達(dá)到生產(chǎn)要求，并有所提高。

附圖說(shuō)明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)示意圖；

圖2為現(xiàn)有技術(shù)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1：如圖3所示，采用四面溢流的形式，加速藥液的流動(dòng)和更新，帶走硅片反應(yīng)所放的熱量，保證硅片反應(yīng)溫度和濃度的均一性，從而保證制絨的效果更佳。

一種多晶太陽(yáng)能電池片的鏈?zhǔn)街平q的方法，含有以下步驟：

步驟1；采用槽體四面溢流方式，使得反應(yīng)后液體快速溢出；