[實用新型]電動引弧直接冷卻式陰極電弧離子源

無效

• 申請號: 200920172903.2
• 申請日: 2009-08-14
• 公開（公告）號: CN201495279U
• 公開（公告）日: 2010-06-02
• 發明（設計）人: 熊劍輝
• 申請（專利權）人: 熊劍輝
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種電動引弧直接冷卻式陰極電弧離子源，其特征在于：包括引弧系統(22)、陰極座(15)、屏蔽盤(9)、法蘭盤(20)、調節盤組件(17)、調節盤螺桿(18)；陰極座(15)與法蘭盤(20)之間通過螺釘(23)連接，陰極座絕緣墊(12)位于陰極座(15)與螺釘(23)之間，陰極絕緣套(11)位于陰極座(15)與法蘭盤(20)之間，套在陰極座(15)上；調節盤固定件(16)位于調節盤組件(17)與陰極座(15)之間，調節盤螺桿(18)一端與調節盤組件(17)相連，另一端位于陰極座(15)中；屏蔽盤支撐桿(8)位于法蘭盤(20)與屏蔽盤(9)之間。

2.根據權利要求1所述的電動引弧直接冷卻式陰極電弧離子源，其特征在于：所述引弧系統(22)由引弧絲(1)、引弧桿(2)、引弧桿外套(4)、引弧線圈外套(5)、線圈支架(6)、引弧線圈外套后蓋(7)組成；引弧絲(1)與引弧桿(2)相連，引弧桿(2)位于引弧桿外套(4)內，引弧桿外套(4)通過螺釘(24)緊固在法蘭盤(20)上，引弧桿外套絕緣墊(13)位于螺釘(24)與引弧桿外套(4)之間，引弧絕緣法蘭(3)位于引弧桿外套(4)、引弧桿(2)與法蘭盤(20)之間。

3.根據權利要求1所述的電動引弧直接冷卻式陰極電弧離子源，其特征在于：屏蔽環(10)位于所述屏蔽盤(9)上。

4.根據權利要求1所述的電動引弧直接冷卻式陰極電弧離子源，其特征在于：進水口(25)，出水口(26)位于所述陰極座(15)上，陰極座(15)內水道(27)位于靶材一側有開口，密封圈(21)位于陰極座(15)上與靶材結合部位。

5.根據權利要求1所述的電動引弧直接冷卻式陰極電弧離子源，其特征在于：磁鋼(28)位于調節盤組件(17)中，蓋板(29)位于磁鋼(28)外面。

6.根據權利要求1所述的電動引弧直接冷卻式陰極電弧離子源，其特征在于：法蘭盤絕緣墊(14)位于法蘭盤與真空爐體連接位置(30)處，法蘭絕緣盤(19)位于法蘭盤(20)與真空爐結合處。