[實用新型]電動引弧間接冷卻式陰極電弧離子源

無效

• 申請號: 200920172902.8
• 申請日: 2009-08-14
• 公開（公告）號: CN201495278U
• 公開（公告）日: 2010-06-02
• 發明（設計）人: 熊劍輝
• 申請（專利權）人: 熊劍輝
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種電動引弧間接冷卻式陰極電弧離子源。

背景技術

在真空鍍膜設備上采用陰極電弧離子源進行鍍膜，具有膜層沉積速度快，結合力牢固的特點，為進一步提高膜層結合力，在陰極電弧離子源的設計上需要考慮弧靶靶材表面的垂直磁場，磁場強度是直接影響膜層結合力的關鍵因素之一，而目前對此沒有很好的解決辦法。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種采用電動引弧；調節盤螺桿一端位于陰極座內，接近靶材中心，提高靶材表面的垂直磁場的電動引弧間接冷卻式陰極電弧離子源。

為實現上述目的，本實用新型電動引弧間接冷卻式陰極電弧離子源，包括引弧系統、陰極座、屏蔽盤、法蘭盤、調節盤組件、調節盤螺桿；陰極座與法蘭盤之間通過螺釘連接，陰極座絕緣墊位于陰極座與螺釘之間，陰極絕緣套位于陰極座與法蘭盤之間，套在陰極座上；調節盤固定件位于調節盤組件與陰極座之間，調節盤螺桿一端與調節盤組件相連，另一端位于陰極座中；屏蔽盤支撐桿位于法蘭盤與屏蔽盤之間。

所述引弧系統由引弧絲、引弧桿、引弧桿外套、引弧線圈外套、線圈支架、引弧線圈外套后蓋組成；引弧絲與引弧桿相連，引弧桿位于引弧桿外套內，引弧桿外套通過螺釘緊固在法蘭盤上，引弧桿外套絕緣墊位于螺釘與引弧桿外套之間，引弧絕緣法蘭位于引弧桿外套、引弧桿與法蘭盤之間。

屏蔽環位于所述屏蔽盤上。

進水口，出水口位于所述陰極座上，水道位于陰極座內。

磁鋼位于調節盤組件中，蓋板位于磁鋼外面。

法蘭盤絕緣墊位于法蘭盤與真空爐體連接處，法蘭絕緣盤位于法蘭盤與真空爐體之間。

采用這樣的結構后，電磁線圈可安裝在引弧線圈外套內，電磁線圈可套在線圈支架上，電磁線圈通電后，可帶動引弧桿，從而帶動引弧絲前后移動，使引弧絲點觸靶材表面，使靶材表面產生電弧；可拆卸引弧線圈外套后蓋，取出電磁線圈，方便更換；引弧絕緣法蘭使引弧桿與法蘭盤絕緣；引弧桿可在引弧桿外套內前后移動；引弧桿外套通過螺釘緊固在法蘭盤上，引弧桿外套絕緣墊使之與法蘭盤絕緣。

調節盤組件中鑲嵌磁鋼，并用蓋板封閉，可產生磁鋼磁場；磁鋼磁場通過調節盤螺桿傳遞到陰極座上；調節盤螺桿一端與調節盤組件相連，另一端位于陰極座內；進一步提高弧靶靶材表面的垂直磁場，提高了膜層結合力。

調節盤固定件將調節盤組件固定在陰極座上。

陰極絕緣套套在陰極座上，使陰極座與法蘭盤絕緣；陰極座安裝在法蘭盤上，通過螺釘緊固，陰極座絕緣墊隔離緊固螺釘和法蘭盤；陰極座安裝在法蘭盤上，通過法蘭盤固定在真空爐上。

陰極座上可安裝靶材，由于進水口，出水口位于所述陰極座上，水道位于陰極座內部，可接通冷卻水，從而對靶材冷卻，降低靶材溫度，提高鍍膜質量，冷卻水與靶材不接觸，所以是間接冷卻，冷卻水不會進入真空爐體內，保證了真空爐體內真空效果。

屏蔽盤可套在靶材上，對靶材帶電粒子進行屏蔽；屏蔽盤支撐桿安裝在法蘭盤上，支撐屏蔽盤；屏蔽環安裝在屏蔽盤上，可調整間隙。

法蘭盤可用螺釘固定在真空爐體接口上，法蘭盤絕緣墊隔離螺釘與爐體；法蘭盤安裝在真空室爐體上，中間夾法蘭絕緣盤，使法蘭盤與爐體絕緣。

本實用新型采用電動引弧，從而減少了密封圈接口，使引弧絲與真空爐隔離，減少了漏氣點，大大簡化了結構，使安裝維護更為簡便，操作更為容易。

附圖說明

圖1是本實用新型電動引弧間接冷卻式陰極電弧離子源的結構示意圖。

具體實施方式

圖1所示的本實用新型電動引弧間接冷卻式陰極電弧離子源，包括引弧系統21、陰極座15、屏蔽盤9、法蘭盤20、調節盤組件17、調節盤螺桿18；陰極座15與法蘭盤20之間通過螺釘22連接，陰極座絕緣墊12位于陰極座15與螺釘22之間，陰極絕緣套11位于陰極座15與法蘭盤20之間，套在陰極座15上；調節盤固定件16位于調節盤組件17與陰極座15之間，調節盤螺桿18一端與調節盤組件17相連，另一端位于陰極座15中；屏蔽盤支撐桿8位于法蘭盤20與屏蔽盤9之間。

所述引弧系統21由引弧絲1、引弧桿2、引弧桿外套4、引弧線圈外套5、線圈支架6、引弧線圈外套后蓋7組成；引弧絲1與引弧桿2相連，引弧桿2位于引弧桿外套4內，引弧桿外套4通過螺釘23緊固在法蘭盤20上，引弧桿外套絕緣墊13位于螺釘23與引弧桿外套4間，引弧絕緣法蘭3位于引弧桿外套4、引弧桿2與法蘭盤20之間。

屏蔽環10位于所述屏蔽盤9上。

進水口24，出水口25位于所述陰極座15上，水道26位于陰極座2內。