[實用新型]一種掩膜版倒邊磨邊機(jī)的倒邊磨邊傳動裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920166836.3
• 申請日: 2009-07-20
• 公開（公告）號: CN201437211U
• 公開（公告）日: 2010-04-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林宜龍;田亮;張松嶺;林建昌;周冠彬;唐召來
• 申請（專利權(quán)）人: 格蘭達(dá)技術(shù)(深圳)有限公司
• 主分類號: B24B9/02
• 分類號: B24B9/02;G03F1/00
• 代理公司: 北京英特普羅知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11015
• 代理人: 孫麗芳

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及對掩膜版進(jìn)行自動倒邊和磨邊加工的領(lǐng)域，尤其涉及一種在加工過程中，使倒邊裝置和磨邊裝置在移動過程中完成加工的倒邊磨邊傳動裝置。

背景技術(shù)

掩膜版是廣泛應(yīng)用在電子行業(yè)的重要加工工具之一，掩膜版的倒邊和磨邊是掩膜版加工制造過程中的重要加工環(huán)節(jié)，其加工質(zhì)量好壞，直接影響到掩膜版的質(zhì)量。目前，掩膜版的倒邊和磨邊工序都是靠人工手動完成，這種加工方式不僅勞動強(qiáng)度大、生產(chǎn)效率低，更重要的是倒邊和磨邊的質(zhì)量難以保證，并且加工精度都比較低，很難將經(jīng)手動倒邊和磨邊的掩膜版應(yīng)用到高端產(chǎn)品中，特別是大尺寸掩膜版的倒邊和磨邊，其加工質(zhì)量就更難保證。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的一個目的是針對現(xiàn)有的對掩膜版進(jìn)行倒邊和磨邊加工的現(xiàn)狀，提供一種掩膜版倒邊磨邊機(jī)的倒邊磨邊傳動裝置。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案：一種掩膜版倒邊磨邊機(jī)的倒邊磨邊傳動裝置，包括倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座，二者均與一導(dǎo)軌滑動配合連接；倒邊動力傳動系統(tǒng)和磨邊動力傳動系統(tǒng)，分別帶動所述倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座沿所述導(dǎo)軌左右移動，使分別安裝在倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座上的倒邊裝置和磨邊裝置在移動過程中分別對放置在一掩膜版支撐平臺裝置上的掩膜版進(jìn)行倒邊加工和磨邊加工；以及，電控系統(tǒng)，控制所述倒邊和磨邊動力傳動系統(tǒng)協(xié)調(diào)動作。

優(yōu)選地，所述導(dǎo)軌包括前導(dǎo)軌和后導(dǎo)軌；所述倒邊動力傳動系統(tǒng)包括倒邊傳動電機(jī)，其安裝在所述后導(dǎo)軌的右側(cè)端部，由所述倒邊傳動電機(jī)帶動的倒邊同步主動輪和倒邊同步從動輪安裝在所述前導(dǎo)軌和后導(dǎo)軌之間，并與一倒邊傳動同步帶配合安裝，所述倒邊裝置滑座與倒邊傳動同步帶固定連接；所述磨邊動力傳動系統(tǒng)包括磨邊傳動電機(jī)，其安裝在所述前導(dǎo)軌的左側(cè)端部，由所述磨邊傳動電機(jī)帶動的磨邊同步主動輪和磨邊同步從動輪安裝在所述前導(dǎo)軌和后導(dǎo)軌之間，并與一磨邊傳動同步帶配合安裝，所述磨邊裝置滑座與磨邊傳動同步帶固定連接；所述倒邊傳動電機(jī)和磨邊傳動電機(jī)由所述電控系統(tǒng)控制。

優(yōu)選地，所述倒邊裝置滑座的后側(cè)部分與所述倒邊傳動同步帶固連，倒邊裝置滑座的前側(cè)部分通過在其下方開一凹槽而與所述磨邊傳動同步帶保持距離，所述磨邊裝置滑座的前側(cè)部分與所述磨邊傳動同步帶固連，磨邊裝置滑座的后側(cè)部分通過在其下方開一凹槽而與所述倒邊傳動同步帶保持距離。

優(yōu)選地，還包括倒邊裝置的左移限位單元和右移限位單元，以及磨邊裝置的左移限位單元和右移限位單元；

所述倒邊裝置的左移限位單元包括固裝在所述倒邊裝置滑座后側(cè)的倒邊光控板和設(shè)置在位于后導(dǎo)軌左端外側(cè)的與所述倒邊光控板配合的左端倒邊光電缺口，所述左端倒邊光電缺口與所述電控系統(tǒng)通訊連接；倒邊左移限位器，設(shè)置在所述后導(dǎo)軌的左端，用以防止倒邊裝置向左移動過頭；

所述倒邊裝置的右移限位單元包括所述的倒邊光控板和設(shè)置在位于后導(dǎo)軌右端外側(cè)的與所述倒邊光控板配合的右端倒邊光電缺口，所述右端倒邊光電缺口與所述電控系統(tǒng)通訊連接；倒邊右移限位器，設(shè)置在后導(dǎo)軌與倒邊傳動同步帶之間，用以防止倒邊裝置向右移動過頭；

所述磨邊裝置的右移限位單元包括固裝在所述磨邊裝置滑座后側(cè)的磨邊光控板和設(shè)置在位于后導(dǎo)軌右端外側(cè)的與所述磨邊光控板配合的右端磨邊光電缺口，所述右端磨邊光電缺口與所述電控系統(tǒng)通訊連接；磨邊右移限位器，設(shè)置在所述前導(dǎo)軌的右端，用以防止磨邊裝置向右移動過頭；

所述磨邊裝置的左移限位單元包括所述的磨邊光控板和設(shè)置在位于后導(dǎo)軌左端外側(cè)的與所述磨邊光控板配合的左端磨邊光電缺口，所述左端磨邊光電缺口與所述電控系統(tǒng)通訊連接；磨邊左移限位器，設(shè)置在前導(dǎo)軌與磨邊傳動同步帶之間，用以防止倒邊裝置向左移動過頭。

優(yōu)選地，所述倒邊光控板和磨邊光控板偏離后導(dǎo)軌的距離不一致。

優(yōu)選地，還包括防止倒邊裝置和磨邊裝置移動過頭而彼此相撞的防撞頭，所述防撞頭包括分別設(shè)置在倒邊裝置滑座和磨邊裝置滑座的同一側(cè)上的倒邊裝置防撞頭和磨邊裝置防撞頭。

本實用新型的有益之處是：倒邊磨邊傳動裝置能按加工程序要求，有序帶動倒邊裝置和磨邊裝置運(yùn)動；倒邊裝置和磨邊裝置可按加工程序要求輪流在導(dǎo)軌上移動，以實現(xiàn)對掩膜版進(jìn)行倒邊和磨邊加工；倒邊裝置滑座和磨邊裝置上可以設(shè)置有固連自身裝置同步帶的位置和讓開非自身裝置同步帶的凹槽；倒邊磨邊傳動裝置上設(shè)置有機(jī)械式和光控式限位裝置，主要是限制倒邊裝置和磨邊裝置的左右移動極限位置和兩裝置之間的極限位置。

附圖說明

圖1為主要顯示本實用新型所述倒邊磨邊傳動裝置的前部結(jié)構(gòu)的立體示意圖；