[實用新型]一種用于汽化四氯化硅的裝置

無效

• 申請號: 200920162661.9
• 申請日: 2009-07-03
• 公開（公告）號: CN201482472U
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發明（設計）人: 唐雨東;張佳偉;陳利群;遲伯成;馮學明;李鵬;滿慈皊;郭曉暉;陳文龍
• 申請（專利權）人: 江蘇中能硅業科技發展有限公司
• 主分類號: B01J19/00
• 分類號: B01J19/00;F17C9/02;C01B33/107
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 孫秀武

1.一種用于汽化四氯化硅的裝置，其特征在于，包括：

第一立式容器(3)，其中盛裝有液體四氯化硅進料(1)；

第二立式容器(7)；

液相連通管(5)，其一端與所述第一立式容器(3)的底部連通，另一端與所述第二立式容器(7)連通，以使所述第二立式容器(7)與所述第一立式容器(3)構成連通器關系，從而使所述液體四氯化硅進料(1)從所述第一立式容器(3)的所述底部經由所述液相連通管(5)進入所述第二立式容器(7)內，并且使所述第二立式容器(7)內的液面與所述第一立式容器(3)內的液面總是保持相互持平；和

加熱裝置(8)，其設置在所述第二立式容器(7)內部，以加熱進入所述第二立式容器(7)中的所述液體四氯化硅進料(1)而生成汽化的四氯化硅，

其中，所述液相連通管(5)在所述第二立式容器(7)內的開口端的位置高于所述第二立式容器(7)的底部。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述加熱裝置(8)是電加熱管或電加熱線圈。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一立式容器(3)的內部空間被所述第一立式容器(3)內的所述液面分隔為液相區和處于該液相區之上的頂空區，所述第二立式容器(7)的內部空間被所述第二立式容器(7)內的所述液面分隔為液相區和處于該液相區之上的頂空區，并且所述第一立式容器(3)的所述頂空區與所述第二立式容器(7)的所述頂空區經由氣相連通管(6)彼此連通，而所述第二立式容器(7)的所述液相區與所述第一立式容器(3)的所述液相區經由所述液相連通管(5)彼此連通。

4.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述液相連通管(5)在所述第一立式容器(3)內的開口端總是處于所述第一立式容器(3)內的所述液面之下，并且所述液相連通管(5)在所述第二立式容器(7)內的開口端總是處于所述第二立式容器(7)內的所述液面之下，而所述氣相連通管(6)在所述第一立式容器(3)內的開口端總是處于所述第一立式容器(3)內的所述液面之上，并且所述氣相連通管(6)在所述第二立式容器(7)內的開口端總是處于所述第二立式容器(7)內的所述液面之上。

5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述汽化的四氯化硅經由所述氣相連通管(6)進入所述第一立式容器(3)的所述頂空區，并作為最終產品(12)從位于所述第一立式容器(3)頂部的產品出口管線(11)排出。

6.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述液體四氯化硅進料(1)通過進料管線(2)進入所述第一立式容器(3)，并且所述進料管線(2)在所述第一立式容器(3)內的開口端位于所述第一立式容器(3)內的所述液面之下。

7.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，在所述第二立式容器(7)的底部具有排污管線(9)。

8.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一立式容器(3)還包括液位計(4)，以觀察所述第一立式容器(3)內的所述液面的水平液位。

9.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置經過保溫處理。

10.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第二立式容器(7)的底部呈現為向下凸出的形狀。

11.根據權利要求10所述的裝置，其特征在于，所述形狀選自半球形、半橢球形、倒圓錐形和倒三角錐形中的任意一種。

12.根據前述權利要求任一項所述的裝置，其特征在于，所述加熱裝置(8)的最低端高于所述液相連通管(5)在所述第二立式容器(7)內的所述開口端的位置。