[實用新型]晶圓清洗設備的滾輪裝置

無效

• 申請號: 200920161218.X
• 申請日: 2009-07-03
• 公開（公告）號: CN201482776U
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發明（設計）人: 林志菁
• 申請（專利權）人: 林志菁
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所 11277
• 代理人: 劉新宇;王璐

1.一種晶圓清洗設備的滾輪裝置，包括：一個轉軸單元及多個彼此間隔地安裝在該轉軸單元外圍的滾輪單元；其特征在于，該轉軸單元包括一支呈長桿狀的芯棒及一個包覆結合在該芯棒外圍的軸套，每一個滾輪單元包括一個套置在該軸套外圍的輪體。

2.根據權利要求1所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，其特征在于，該滾輪裝置還包括多個分別將所述滾輪單元固定在該轉軸單元上的鎖接單元。

3.根據權利要求2所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，其特征在于，每一個鎖接單元包括至少一支將該輪體與該軸套螺接固定在一起的鎖接件。

4.根據權利要求3所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，其特征在于，該轉軸單元的軸套具有多個對應于該輪體且彼此間隔設置的螺接部，每一螺接部具有二個相對設置的螺孔，每一滾輪單元的輪體具有二個分別連通所述螺孔的穿孔，每一鎖接單元包括二支分別將該輪體與該軸套鎖接在一起的鎖接件，每一鎖接件都是一支螺入所述穿孔與分別對應所述穿孔的螺孔內的螺絲。

5.根據權利要求1所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，其特征在于，該轉軸單元的軸套具有二個相對位于該芯棒的兩相反端的端壁及一個軸向套置在該芯棒周圍且連接所述端壁的管壁。

6.根據權利要求1所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，其特征在于，該轉軸單元的軸套具有二個相對位于該芯棒的兩相反端的端壁及多個彼此相鄰串接地軸向套置在該芯棒周圍且連接所述端壁的管壁。

7.根據權利要求1所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，其特征在于，該轉軸單元的軸套具有二個相對位于該芯棒的兩相反端的端壁及二個分別由所述端壁的周緣同體往另一端壁軸向延伸且軸向套置在該芯棒周圍的圍繞壁，所述圍繞壁彼此相鄰連接。

8.根據權利要求1所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，其特征在于，該轉軸單元的軸套具有二個相對位于該芯棒的兩相反端的端壁、二個分別由所述端壁的周緣同體往另一端壁軸向延伸且軸向套置在該芯棒周圍的圍繞壁及至少一個連接所述圍繞壁且軸向套置在該芯棒周圍的管壁。

9.根據權利要求1所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，其特征在于，每一個滾輪單元的輪體具有二個左右間隔且分別形成在該輪體的外周面上的環槽，每一個滾輪單元還包括二個分別嵌置在該輪體的環槽內的O型環。