[實用新型]用于晶圓片研磨墊的整理器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920159273.5
• 申請日: 2009-06-23
• 公開（公告）號: CN201432248Y
• 公開（公告）日: 2010-03-31
• 發(fā)明（設計）人: 官大發(fā)
• 申請（專利權(quán)）人: 葳明科技有限公司
• 主分類號: B24B53/02
• 分類號: B24B53/02;B24B53/12;H01L21/304
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 梁 揮;張燕華

1、一種用于晶圓片研磨墊的整理器，其特征在于，包括：

一承座(10)，包含一腔室(11)及與該腔室(11)相通的一第一軸孔(12)；

一伸縮機構(gòu)(20)，包含容置在該腔室內(nèi)(11)的一移動件(21)、固定于該移動件(21)的至少二支撐柱(22)及連接于該二支撐柱(22)的一座板(23)，該移動件(21)及該座板(23)分別開設有相互對應的一第二軸孔(24)及一第三軸孔(25)；以及

一旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(30)，包含一旋轉(zhuǎn)軸(31)及一軸接組件(32)，該旋轉(zhuǎn)軸(31)依序穿接該第一軸孔(12)、該第二軸孔(24)及該第三軸孔(25)，該軸接組件(32)夾掣在該旋轉(zhuǎn)軸(31)及該移動件(21)之間，以使該旋轉(zhuǎn)軸(31)跟隨該移動件(21)作線性移動。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述用于晶圓片研磨墊的整理器，其特征在于，該座板(23)包含一底蓋(231)及疊接于該底蓋(231)的一頂蓋(232)，該底蓋(231)開設有一穿孔(233)及與該穿孔(233)相互連通的一結(jié)合孔(234)，該頂蓋(232)相鄰該底蓋(231)一面開設有對應該結(jié)合孔(234)位置的一第一卡接槽(235)，該支撐柱(22)一端分別形成有一第一接頭(221)及相鄰該第一接頭(221)的一嵌軸(222)，該支撐柱(22)以該嵌軸(222)嵌限于該結(jié)合孔(234)內(nèi)并以該第一接頭(221)定位在該第一卡接槽(235)中。

3、根據(jù)權(quán)利要求2所述用于晶圓片研磨墊的整理器，其特征在于，該移動件(21)包含一內(nèi)板(211)及疊接于該內(nèi)板(211)的一外板(212)，該外板(212)開設有一導孔(213)，該內(nèi)板(211)相鄰該外板(212)一面開設有對應該導孔(213)位置的一第二卡接槽(214)，該支撐柱(22)另一端形成有一第二接頭(223)，該支撐柱(22)穿設該導孔(213)而以該第二接頭(223)卡摯在該第二卡接槽(214)中。

4、根據(jù)權(quán)利要求1所述用于晶圓片研磨墊的整理器，其特征在于，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(30)還包含固定于該旋轉(zhuǎn)軸(31)一端的一旋轉(zhuǎn)頭(33)。

5、根據(jù)權(quán)利要求1所述用于晶圓片研磨墊的整理器，其特征在于，該承座(10)開設有與該腔室(11)相通的一進氣口(13)及一排氣口(14)，由進氣口(13)及排氣口(14)的進排氣改變該腔室(11)中的氣體壓力，而帶動該移動件(21)于該腔室(11)中作移動。

6、根據(jù)權(quán)利要求1所述用于晶圓片研磨墊的整理器，其特征在于，還包括一護罩(40)，該座板(23)的周緣形成有一擋環(huán)(236)，該護罩(40)的兩端分別連接該座板(23)及該承座(10)，該護罩(40)并抵接該擋環(huán)(236)。

7、根據(jù)權(quán)利要求6所述用于晶圓片研磨墊的整理器，其特征在于，該護罩(40)包含相互卡勾套疊的多個環(huán)圈(41)。

8、根據(jù)權(quán)利要求2所述用于晶圓片研磨墊的整理器，其特征在于，該座板(23)還包含一座板螺絲(237)，該底蓋(231)開設有一底蓋螺孔(238)，該頂蓋(232)開設有一頂蓋通孔(239)，該座板螺絲(237)穿設該頂蓋通孔(239)以與該底蓋螺孔(238)螺接。

9、根據(jù)權(quán)利要求3所述用于晶圓片研磨墊的整理器，其特征在于，該移動件(21)還包含一移動件螺絲(215)，該內(nèi)板(211)開設有一內(nèi)板螺孔(216)，該外板(212)開設有一外板通孔(217)，該移動件螺絲(215)穿設該外板通孔(217)以與該內(nèi)板螺孔(216)螺接。