[實(shí)用新型]一種石英坩堝高溫成形系統(tǒng)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920158664.5
• 申請(qǐng)日: 2009-06-10
• 公開（公告）號(hào): CN201420043Y
• 公開（公告）日: 2010-03-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃乃軍;黃潔
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 余姚市晶英電弧坩堝有限公司
• 主分類號(hào): C03B20/00
• 分類號(hào): C03B20/00;C30B15/10
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種石英坩堝高溫成形系統(tǒng)。屬于坩堝爐技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

單晶硅棒是生產(chǎn)單晶硅片的原材料，隨著國(guó)內(nèi)和國(guó)際市場(chǎng)對(duì)單晶硅片需求量的快速增加，單晶硅棒的市場(chǎng)需求也呈快速增長(zhǎng)的趨勢(shì)，制作單晶硅棒所使用的石英坩堝的需求量也快速增加。現(xiàn)在制作石英坩堝時(shí)所使用的石英坩堝高溫成形系統(tǒng)，包括坩堝模具、移動(dòng)底座、電極、遮熱板、加料漏斗、導(dǎo)軌、支架。坩堝模具和遮熱板傾斜設(shè)置，導(dǎo)軌架設(shè)在支架上，導(dǎo)軌與支架固定連接，坩堝模具和遮熱板的中軸線與移動(dòng)底座的中軸線呈16°角，由于坩堝模具的角度過大，容易塌料，加熱不均勻，噴涂厚度不均勻。遮熱板的支架和冷卻水管外表都要用石英布纏繞，石英布價(jià)格貴，而且石英布每月都要更新；石英布高溫下也易氧化，氧化物落到坩堝內(nèi)就會(huì)造次品；遮熱板效果不好，熱量易流失；水管小，容易漏水。加料漏斗為一組漏斗，使用不方便，不便于加2種以上原料。移動(dòng)底座水平放置，設(shè)置在一個(gè)圓形軌道上，這樣效率低，成本高。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供了一種石英坩堝高溫成形系統(tǒng)。改變了坩堝模具的角度，成形好，加熱均勻，噴涂厚度均勻，遮熱板不用石英布，降低成本，減少了氧化物，增加了成品率，雙組加料漏斗使用方便，利于加2種以上原料，推桿式的移動(dòng)底座，實(shí)用方便，降低成本。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案是：一種石英坩堝高溫成形系統(tǒng)，包括坩堝模具、移動(dòng)底座、電極、遮熱板、加料漏斗、導(dǎo)軌、支架，移動(dòng)底座水平放置，移動(dòng)底座內(nèi)設(shè)置有曲軸系統(tǒng)，曲軸系統(tǒng)上部設(shè)置有頂桿，移動(dòng)底座與坩堝模具通過頂桿連接，坩堝模具和遮熱板傾斜設(shè)置，導(dǎo)軌架設(shè)在支架上，導(dǎo)軌與支架固定連接，坩堝模具和遮熱板的中軸線與移動(dòng)底座的中軸線呈6-10°角。

所述坩堝模具和遮熱板的中軸線與移動(dòng)底座的中軸線呈8°角。

所述遮熱板還包括冷卻水管，遮熱板內(nèi)部為中空，與冷卻水管相通。

所述遮熱板與導(dǎo)軌滑動(dòng)連接。

所述加料漏斗還包括石英管，加料漏斗為雙組漏斗，雙組漏斗通過石英管架設(shè)在坩堝模具側(cè)上方。

所述移動(dòng)底座還包括推桿，移動(dòng)底座架設(shè)在地面軌道上，移動(dòng)底座下部前端設(shè)置有推桿。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

(1)改變了坩堝模具的角度，成形好，加熱均勻，噴涂厚度均勻；

(2)遮熱板不用石英布，降低成本，減少了氧化物，增加了成品率，水源大，不易漏水；

(3)雙組加料漏斗使用方便，利于加2種以上原料；

(4)推桿式的移動(dòng)底座，實(shí)用方便，降低成本。

附圖說明

附圖1本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)圖

附圖標(biāo)記說明：1坩堝模具??2移動(dòng)底座??21曲軸系統(tǒng)??22頂桿??23推桿3電極??4遮熱板??41冷卻水管??5加料漏斗??51石英管??6導(dǎo)軌??7支架

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。

如圖1所示，一種石英坩堝高溫成形系統(tǒng)，包括坩堝模具1、移動(dòng)底座2、電極3、遮熱板4、加料漏斗5、導(dǎo)軌6、支架7，移動(dòng)底座2水平放置，移動(dòng)底座2內(nèi)設(shè)置有曲軸系統(tǒng)21，曲軸系統(tǒng)21上部設(shè)置有頂桿22，移動(dòng)底座2與坩堝模具1通過頂桿22連接，通過調(diào)節(jié)頂桿22，可以調(diào)節(jié)坩堝模具1的角度。坩堝模具1和遮熱板4傾斜設(shè)置，導(dǎo)軌6架設(shè)在支架7上，導(dǎo)軌6與支架7固定連接。坩堝模具1和遮熱板3的中軸線與移動(dòng)底座2的中軸線呈8°角。遮熱板4還包括冷卻水管41，遮熱板4內(nèi)部為中空，與冷卻水管41相通。遮熱板4與導(dǎo)軌6滑動(dòng)連接，遮熱板4可以通過導(dǎo)軌6上下移動(dòng)。加料漏斗5還包括石英管51，加料漏斗5為雙組漏斗，雙組漏斗通過石英管51架設(shè)在坩堝模具1側(cè)上方。移動(dòng)底座2還包括推桿21，移動(dòng)底座2架設(shè)在地面軌道上，移動(dòng)底座2下部前端設(shè)置有推桿23，推動(dòng)推桿23，可以使移動(dòng)底座2在地面軌道上滑動(dòng)。

以上所述的實(shí)施例，只是本實(shí)用新型較優(yōu)選的具體實(shí)施方式的一種，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)進(jìn)行的通常變化和替換都應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。