[實用新型]一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920158663.0
• 申請日: 2009-06-10
• 公開（公告）號: CN201420111Y
• 公開（公告）日: 2010-03-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃乃軍;黃潔
• 申請（專利權(quán)）人: 余姚市晶英電弧坩鍋有限公司
• 主分類號: C30B15/10
• 分類號: C30B15/10;B28B7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種坩堝模具，特別是涉及一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具，屬于坩堝爐技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

單晶硅棒是生產(chǎn)單晶硅片的原材料，隨著國內(nèi)和國際市場對單晶硅片需求量的快速增加，單晶硅棒的市場需求也呈快速增長的趨勢，制作單晶硅棒所使用的坩堝的需求量也快速增加。現(xiàn)在制作坩堝時所使用的坩堝模具，所使用的高純度的石墨容易氧化，影響坩堝模具的使用壽命，坩堝模具只能使用100爐左右；制作出的坩堝容易產(chǎn)生黑點，影響產(chǎn)品的合格率。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是針對上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供了一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具，防止高純度的石墨氧化，延長了坩堝模具的使用壽命，制作出的坩堝不易產(chǎn)生黑點，提高了坩堝的合格率，降低了成本。

為了實現(xiàn)上述目的本實用新型采取的技術(shù)方案是：一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具，包括坩堝模具、石英纖維層、冷卻水套，坩堝模具由高純度的石墨組成，坩堝模具內(nèi)壁形狀與坩堝外形相對應(yīng)，石英纖維層在坩堝模具外側(cè)，冷卻水套在石英纖維層外側(cè)，還包括環(huán)狀蓋體，環(huán)狀蓋體在坩堝模具上方，環(huán)狀蓋體的外徑等于坩堝模具的外徑，環(huán)狀蓋體的內(nèi)徑等于坩堝模具的內(nèi)徑，環(huán)狀蓋體所使用的是耐高溫合金。

所述坩堝模具上端口內(nèi)側(cè)有一個環(huán)形凹臺，環(huán)狀蓋體下端口內(nèi)側(cè)有一個環(huán)形凸臺，坩堝模具的環(huán)形凹臺和環(huán)狀蓋體的環(huán)形凸臺相匹配，坩堝模具的環(huán)形凹臺和環(huán)狀蓋體的環(huán)形凸臺壓嵌配合。

所述環(huán)狀蓋體的上端面與冷卻水套的上端面相齊。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

(1)防止高純度的石墨氧化，延長了坩堝模具的使用壽命，由原來的使用

100爐左右，提高到使用500爐以上。

(2)制作出的坩堝不易產(chǎn)生黑點，提高了坩堝的合格率，降低了成本；坩堝中所含黑點少，或不含黑點，也就提高了用這種坩堝所熔煉拉制的單晶硅棒的質(zhì)量。

附圖說明

附圖1本實用新型剖面主視圖；

附圖2本實用新型俯視圖。

附圖標(biāo)記說明：1坩堝模具??2石英纖維層?3冷卻水套?4環(huán)狀蓋體

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明，但不作為對本實用新型的限定。

如圖1、2所示，一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具，包括坩堝模具1、石英纖維層2、冷卻水套3，坩堝模具1由高純度的石墨組成，坩堝模具1內(nèi)壁形狀與坩堝外形相對應(yīng)，石英纖維層2在坩堝模具1外側(cè)，冷卻水套3在石英纖維層2外側(cè)，還包括環(huán)狀蓋體4，環(huán)狀蓋體4在坩堝模具1上方，環(huán)狀蓋體4的外徑等于坩堝模具1的外徑，環(huán)狀蓋體4的內(nèi)徑等于坩堝模具1的內(nèi)徑，環(huán)狀蓋體4所使用的是耐高溫合金。坩堝模具1上端口內(nèi)側(cè)有一個環(huán)形凹臺，環(huán)狀蓋體4下端口內(nèi)側(cè)有一個環(huán)形凸臺，坩堝模具1的環(huán)形凹臺和環(huán)狀蓋體4的環(huán)形凸臺相匹配，坩堝模具1的環(huán)形凹臺和環(huán)狀蓋體4的環(huán)形凸臺壓嵌配合。所述環(huán)狀蓋體4的上端面與冷卻水套3的上端面相齊。

以上所述的實施例，只是本實用新型較優(yōu)選的具體實施方式的一種，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)進行的通常變化和替換都應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍內(nèi)。