[實用新型]一種復合層石英坩堝有效
| 申請號: | 200920158661.1 | 申請日: | 2009-06-10 |
| 公開(公告)號: | CN201527173U | 公開(公告)日: | 2010-07-14 |
| 發明(設計)人: | 黃乃軍;黃潔 | 申請(專利權)人: | 余姚市晶英電弧坩堝有限公司 |
| 主分類號: | F27B14/10 | 分類號: | F27B14/10;C30B15/10 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 315450 浙*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 復合 石英 坩堝 | ||
1.一種復合層石英坩堝,包括本體層,本體層為高純天然石英砂層,厚度為6-8MM,其特征在于:還包括透明玻璃層、高溫沉積層;最外層是二氧化硅本體層,向內依次是透明玻璃層、高溫沉積層。
2.根據權利要求1所述的一種復合層石英坩堝,其特征在于:所述透明玻璃層為高純天然石英砂層,透明玻璃層的厚度為2-6MM。
3.根據權利要求1所述的一種復合層石英坩堝,其特征在于:所述高溫沉積層為超高純天然石英砂層,高溫沉積層的厚度為0.7-2.0MM。
4.根據權利要求1所述的一種復合層石英坩堝,其特征在于:還包括外衍層,最外層是外衍層,向內依次是二氧化硅本體層,透明玻璃層、高溫沉積層。
5.根據權利要求4所述的一種復合層石英坩堝,其特征在于:所述外衍層為析晶促進劑層,厚度為0.2-0.4MM。
6.根據權利要求4所述的一種復合層石英坩堝,其特征在于:還包括常溫涂層,最外層是外衍層,向內依次是二氧化硅本體層,透明玻璃層、高溫沉積層、常溫涂層。
7.根據權利要求6所述的一種復合層石英坩堝,其特征在于:所述常溫涂層為硅酸化合物和氮化硅混合體的析晶層,常溫涂層的厚度為0.01-0.03MM。
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