[實用新型]光阻液的循環回收裝置

無效

• 申請號: 200920158422.6
• 申請日: 2009-05-21
• 公開（公告）號: CN201417363Y
• 公開（公告）日: 2010-03-03
• 發明（設計）人: 林淑芬
• 申請（專利權）人: 久弘慶股份有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 廈門市新華專利商標代理有限公司
• 代理人: 朱 凌

1、一種光阻液的循環回收裝置，其特征在于：與一可將使用后的光阻液排出的作業機臺相互連結，該循環回收裝置包含至少一預備桶、復數混合桶、復數攪拌裝置、復數恒溫裝置、一抽真空裝置、復數篩檢裝置、一溶劑裝置、一清洗裝置和一新液裝置；

預備桶連接作業機臺且承接作業機臺排出的光阻液加以集收，且該預備桶具有一底壁，一與該底壁呈相對設置的頂壁，及一連結該底壁與頂壁間以圈圍形成有一容置空間的圍繞壁；

復數混合桶連結預備桶，每一混合桶具有一底壁，一與該底壁呈相對設置的頂壁，及一連結底壁與頂壁間以圈圍形成有一承接預備桶輸出的光阻液的容置空間的圍繞壁；

前述預備桶、混合桶上各分別設有一攪拌裝置，每一攪拌裝置具有一設置于預備桶、混合桶上的動力源，以及一受該動力源驅動且伸置該預備桶、混合桶內的攪拌件；

前述預備桶、混合桶的外桶體上各分別設有一恒溫裝置，控制該預備桶、混合桶內的光阻液的溫度維持在一定設定溫度；

抽真空裝置具有一設置于伸入預備桶、混合桶的容置空間內的管路，以及一連接該管路且將預備桶、所述混合桶內空氣加以抽出的抽氣動力源；

每一混合桶均設有一檢測容置空間內的光阻液溫度、濃度數值的篩檢裝置，同時該篩檢裝置設置于圍繞壁上且伸置于容置空間內；

溶劑裝置具有一存放溶劑的溶劑供應桶，以及分別連結所述混合桶、溶劑供應桶的溶劑管線；

清洗裝置具有一裝有清洗液的清洗液供應桶，一分別連結預備桶、所述混合桶的清洗液管線，以及一將供應桶內的清洗液輸入預備桶與所述混合桶內的清洗動力源；

新液裝置具有一供應新光阻液的新液供應桶，以及一分別連結作業機臺、新液供應桶與混合桶的新液管線。

2、如權利要求1所述的光阻液的循環回收裝置，其特征在于：所述恒溫裝置具有包覆預備桶、混合桶的外桶體，并在預備桶、混合桶的外桶體間環設形成一冷卻環槽，以及充填于冷卻環槽內的冷卻劑。

3、如權利要求1所述的光阻液的循環回收裝置，其特征在于：所述篩檢裝置具有一檢測光阻液溫度的溫度計及一檢測光阻液粘度的粘度計。