[實(shí)用新型]射頻離子電源

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920158320.4
• 申請(qǐng)日: 2009-05-22
• 公開（公告）號(hào): CN201414070Y
• 公開（公告）日: 2010-02-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張建偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 唐山海通電子有限公司
• 主分類號(hào): H02M3/04
• 分類號(hào): H02M3/04;H02M1/44;H03F3/26
• 代理公司: 唐山永和專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 張?jiān)坪?/td>

1、一種射頻離子電源，包括可調(diào)電源電路，推挽放大自激振蕩電路，穩(wěn)壓濾波電路，藕合輸出電路，其特征在于：所述可調(diào)電源電路對(duì)功率、電壓進(jìn)行調(diào)節(jié)，該可調(diào)電源電路的輸出端連接有靜電除塵器，該靜電除塵器的另一端通過穩(wěn)壓濾波電路與推挽放大自激振蕩電路連接，該推挽放大自激振蕩電路的另一端與藕合輸出電路連接，該藕合輸出電路的另一端接設(shè)備負(fù)載，該設(shè)備負(fù)載發(fā)出的信號(hào)反饋給推挽放大自激振蕩電路。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻離子電源，其特征在于：所述藕合輸出電路中輸出高頻信號(hào)，其輸出線圈(L₂)與設(shè)備負(fù)載之間產(chǎn)生選頻網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)電源與設(shè)備的阻抗匹配。

3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻離子電源，其特征在于：所述的靜電除塵器中的電容與可調(diào)電源電路并聯(lián)后再與推挽放大自激振蕩電路連接。

4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻離子電源，其特征在于：所述的推挽放大自激振蕩電路中設(shè)有兩個(gè)高頻功率電子管，分別為第一高頻功率電子管(Q₁)和第二高頻功率電子管(Q₂)，所述第一高頻功率電子管(Q₁)與第二高頻功率電子管(Q₂)的陽極之間串接有電感線圈(L₁)，該電感線圈(L₁)分別與電容(C₁)和電容(C₂)的一端并聯(lián)，該電容(C₁)另一端與電感(L₃)并接后與第一高頻功率電子管(Q₁)的柵極連接，所述電容(C₂)的另一端與電感(L₄)并接后與第二高頻功率電子管(Q₂)的柵極連接。