[實用新型]曝光機

無效

• 申請號: 200920152257.3
• 申請日: 2009-04-29
• 公開（公告）號: CN201402366Y
• 公開（公告）日: 2010-02-10
• 發明（設計）人: 呂金水;鐘政學
• 申請（專利權）人: 翊暉科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京申翔知識產權代理有限公司
• 代理人: 周春發;艾 晶

1、一種曝光機，其特征在于，包括有：

一機臺，具有一由機殼所包圍構成的曝光室；

至少一曝光平臺，為供固定被加工物及原稿的透明平臺；

一輸送機組，用以帶動該至少一曝光平臺相對進出該機臺的曝光室；

至少一曝光光源組，設在該曝光室內部相對于該曝光平臺的移動行程上方或下方位置，每一組曝光光源組具有若干光源用以產生曝光光源；

至少一出光罩，設在該至少一曝光光源組外部，其在相對朝向該曝光平臺移動行程的部位設有一長條狀的透光槽，另設有一活動遮光板控制該透光槽開啟與否；

一控制電路，供設定、整合該輸送機組、該至少一曝光光源組以及該活動遮光板的運作；以及，

該曝光光源組的燈泡啟動時，其光源可透過該出光罩的透光槽向外照射，使產生朝向該曝光平臺移動行程照射的條狀光源；再配合該輸送機組帶動該曝光平臺以預定速度與該出光罩相對位移的方式接受該條狀光源的照射，使該曝光平臺上的被加工物完成曝光顯影。

2、如權利要求1所述的曝光機，其特征在于，在該曝光平臺的移動行程上方與下方位置皆設有一曝光光源組。

3、如權利要求1所述的曝光機，其特征在于，該機殼在相對于該瀑光室的外圍設有散熱排風口及至少一循環入風口，并且在該至少一循環入風口處設有濾網。

4、如權利要求1所述的曝光機，其特征在于，該輸送機組具有一組橫向延伸配置于該機臺的曝光室內、外區域的線性滑軌供承載該曝光平臺，設有一皮帶供與該曝光平臺連接，以及設有一用以帶動該皮帶運轉的馬達。

5、如權利要求1所述的曝光機，其特征在于，該活動遮光板與該出光罩之間連接有至少一用于帶動該活動遮光板與該出光罩相對位移，進而控制該透光槽關閉或開啟的動力缸。

6、如權利要求1所述的曝光機，其特征在于，該控制電路具有一設在機臺上的供設定相關動作參數的觸控屏幕，以及在該機臺相對于該曝光平臺的移動行程處設有至少一用以感測該曝光平臺相對位置的感應開關。

7、如權利要求1所述的曝光機，其特征在于，該至少一曝光光源組的各燈泡呈沿著該出光罩的透光槽直線排列，并且設有一組用以將燈泡的光線投向該出光罩透光槽的反光鏡。

8、如權利要求7所述的曝光機，其特征在于，該至少一曝光光源組的各燈泡朝向光線照射方向偏擺的方式配置。

9、如權利要求7所述的曝光機，其特征在于，該至少一曝光光源組的各燈泡以2°夾角朝向光線照射方向偏擺的方式配置。

10、如權利要求1所述的曝光機，其特征在于，該光源燈泡或LED光源。