[實用新型]一種CZ直拉單晶法真空泵的避震裝置無效
| 申請號： | 200920142766.8 | 申請日： | 2009-01-19 |
| 公開（公告）號： | CN201372912Y | 公開（公告）日： | 2009-12-30 |
| 發明（設計）人： | 劉福林;戴建國 | 申請（專利權）人： | 蕪湖升陽光電科技有限公司 |
| 主分類號： | F04B39/00 | 分類號： | F04B39/00;F04B37/14 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 241100*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 cz 直拉單晶法 真空泵 裝置 | ||
【權利要求書】：
1、一種CZ直拉單晶法真空泵的避震裝置，包括槽鋼底架(1)及避震結構，其特征在于：所述的避震結構為：在所述的槽鋼底架(1)上方，設由柔性材料制成的上避震模塊(2)；在所述的槽鋼底架(1)下方，設由柔性材料制成的下避震模塊(3)。
2、按照權利要求1所述的CZ直拉單晶法真空泵的避震裝置，其特征在于：所述的上避震模塊(2)為四根圓形的墊塊，用螺桿固定在槽鋼底架(1)與真空泵上。
3、按照權利要求1所述的CZ直拉單晶法真空泵的避震裝置，其特征在于：所述的下避震模塊(3)為四個圓柱形的墊塊，直接置于槽鋼底架(1)與地基之間。
4、按照權利要求1或2或3所述的CZ直拉單晶法真空泵的避震裝置，其特征在于：所述的上避震模塊(2)的材料為聚乙烯樹脂。
5、按照權利要求1或2或3所述的CZ直拉單晶法真空泵的避震裝置，其特征在于：所述的下避震模塊(3)為橡膠避震墊。
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