[實用新型]自動圖像識別對晶的高速固晶裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200920141479.5 | 申請日: | 2009-01-15 |
| 公開(公告)號: | CN201340847Y | 公開(公告)日: | 2009-11-04 |
| 發(fā)明(設計)人: | 王云;張緒坤;儲珺 | 申請(專利權)人: | 南昌航空大學 |
| 主分類號: | H01L21/58 | 分類號: | H01L21/58;H01L21/68;H05K3/30 |
| 代理公司: | 南昌洪達專利事務所 | 代理人: | 劉凌峰 |
| 地址: | 330031江西省南*** | 國省代碼: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 自動 圖像 識別 高速 裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種固晶裝置,尤其涉及一種自動圖像識別對晶的高速同晶裝置。
背景技術
隨著世界范圍內(nèi)節(jié)能減排的要求日益迫切,半導體照明工程的應用越來越廣。目前,國內(nèi)外公知的固晶方法有兩種:一種是在顯微鏡下人工固晶,人工固晶效率低下;另一種是利用自動固晶機自動固晶。各種自動固晶機的工作原理都是利用邦頭取晶后再移動到固晶位進行固晶,盡管邦頭系統(tǒng)結構各異,但從取晶位到固晶位,邦頭都要遠距離移動,固晶精度和速度受到嚴重制約,而且各種輔助運動機構結構復雜,穩(wěn)定性差。
發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的在于提供了一種自動圖像識別對晶的高速固晶裝置,通過該裝置使固晶速度大幅提高,由于邦頭實現(xiàn)雙向多組固晶,效率成倍增加。
本實用新型是這樣來實現(xiàn)的,它包括電路板平臺、晶元平臺、邦頭機構、邦頭控制驅動電路、平臺運動控制驅動電路、計算機、攝像頭、晶元平臺夾具、晶元環(huán)、電路板平臺夾具、電路板,其特征是攝像頭連接計算機,計算機分別連接邦頭控制驅動電路和平臺運動控制驅動電路,平臺運動控制驅動電路連接若干組晶元平臺夾具和電路板平臺夾具,晶元平臺夾具連接晶元平臺,晶元平臺上表面放有帶若干個晶元的晶元環(huán),電路板平臺夾具連接電路板平臺,電路板平臺上表面連有電路板,邦頭控制驅動電路連接若干個有上、下兩個邦頭的邦頭機構,邦頭機構的上、下邦頭分別對應晶元平臺上的晶元環(huán)。
本實用新型的技術效果是:1、結構簡單,自動化控制,生產(chǎn)效率高;2、減少了邦頭的往復移動,可以提高固晶速度;3、由計算機對固晶位置進行控制,固晶精度提高。
附圖說明
圖1為本實用新型的結構示意圖。
在圖中,1、電路板平臺2、晶元平臺3、邦頭機構4、邦頭控制驅動電路5、平臺運動控制驅動電路6、計算機7、攝像頭8、晶元平臺夾具9、晶元環(huán)10、電路板平臺夾具11、電路板
具體實施方式
如圖1所示,本實用新型是這樣來實現(xiàn)的,它包括電路板平臺1、晶元平臺2、邦頭機構3、邦頭控制驅動電路4、平臺運動控制驅動電路5、計算機6、攝像頭7、晶元平臺夾具8、晶元環(huán)9、電路板平臺夾具10、電路板11,其特征是攝像頭7連接計算機6,計算機6分別連接邦頭控制驅動電路4和平臺運動控制驅動電路5,平臺運動控制驅動電路5連接若干組晶元平臺夾具8和電路板平臺夾具10,晶元平臺夾具8連接晶元平臺2,晶元平臺2上表面放有帶若干個晶元的晶元環(huán)9,電路板平臺夾具10連接電路板平臺1,電路板平臺1上表面連有電路板11,邦頭控制驅動電路4連接若干個有上、下兩個邦頭的邦頭機構3,邦頭機構3的上、下邦頭分別對應晶元平臺上的晶元環(huán)9。使用時,將晶元平臺夾具和電路板平臺夾具分別用攝像頭攝像,將圖像數(shù)據(jù)輸入計算機,由計算機對攝入圖像進行分析計算和處理,使晶元環(huán)上的晶元依次和電路板上的對應固晶位置一一自動匹配,計算出各對應點的坐標偏差值,為了有一個計算分析基準,在夾具上設置一個與移動平臺共同的基準點,作為圖像識別分析的坐標參考點。根據(jù)需要計算機可以同時處理多組圖像數(shù)據(jù)并匹配計算各組內(nèi)對應點坐標偏差。
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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