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[實用新型]基于光柵的高精度激光光束小角度偏轉(zhuǎn)裝置無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 200920137649.2 申請日: 2009-04-13
公開(公告)號: CN201378063Y 公開(公告)日: 2010-01-06
發(fā)明(設(shè)計)人: 王燦輝;任雪暢;劉守;張向蘇;劉國華 申請(專利權(quán))人: 廈門大學(xué)
主分類號: G01D11/00 分類號: G01D11/00;G02B26/08
代理公司: 廈門南強(qiáng)之路專利事務(wù)所 代理人: 馬應(yīng)森;劉 勇
地址: 361005福*** 國省代碼: 福建;35
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 基于 光柵 高精度 激光 光束 角度 偏轉(zhuǎn) 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.基于光柵的高精度激光光束小角度偏轉(zhuǎn)裝置,其特征在于設(shè)有激光器、可測量旋轉(zhuǎn)角度的旋轉(zhuǎn)臺、光柵和光闌,光柵設(shè)于旋轉(zhuǎn)臺上且位于旋轉(zhuǎn)臺的直徑垂直面上,光柵的光柵面背向激光器,激光器設(shè)于光柵前方,激光器發(fā)出的激光光束垂直入射于光柵,并且穿過旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸,光闌設(shè)于光柵后的光路中,光闌上設(shè)有透光窗。

2.如權(quán)利要求1所述的基于光柵的高精度激光光束小角度偏轉(zhuǎn)裝置,其特征在于旋轉(zhuǎn)臺上設(shè)有微調(diào)旋鈕。

3.如權(quán)利要求2所述的基于光柵的高精度激光光束小角度偏轉(zhuǎn)裝置,其特征在于微調(diào)旋鈕為微調(diào)螺桿。

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