[實用新型]MEMS麥克風有效
| 申請號： | 200920135947.8 | 申請日： | 2009-03-27 |
| 公開（公告）號： | CN201403194Y | 公開（公告）日： | 2010-02-10 |
| 發明（設計）人： | 蘇永澤 | 申請（專利權）人： | 瑞聲聲學科技(常州)有限公司;瑞聲聲學科技(深圳)有限公司 |
| 主分類號： | H04R9/04 | 分類號： | H04R9/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 213167*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mems 麥克風 | ||
【權利要求書】：
1.一種MEMS麥克風，包括帶進聲孔的上蓋板、一環繞并支撐上蓋板的殼壁、一支撐殼壁及上蓋板的基板，基板與殼壁、上蓋板所構成的空腔內設有集成電路芯片和MEMS芯片，其特征在于：基板上設有隔板，隔板將空腔分設為至少兩個子空腔，進聲孔和MEMS芯片分別位于不同子空腔，MEMS芯片帶有凹陷聲腔，基板內部設有聲學通道，凹陷聲腔與進聲孔通過該聲學通道相通。
2、根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于：該聲學通道至少有一段走向與基板平行。
3、根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述的MEMS芯片與集成電路芯片位于不同的子空腔。
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