[實用新型]一種四氯化硅制備三氯氫硅的設備無效
| 申請號： | 200920135251.5 | 申請日： | 2009-02-27 |
| 公開（公告）號： | CN201372206Y | 公開（公告）日： | 2009-12-30 |
| 發明（設計）人： | 張日清;范猛;周勇;姜占鋒 | 申請（專利權）人： | 比亞迪股份有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107 |
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| 地址： | 518118廣東省深*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 氯化 制備 三氯氫硅 設備 | ||
1，一種四氯化硅制備三氯氫硅的設備，包括硅粉活化器，供氣裝置，氫化反應器，后處理裝置；
所述硅粉活化器和氫化反應器之間設有第一管道；供氣裝置和氫化反應器之間設有第二管道；
所述后處理裝置用于對氫化反應器中出來的物質進行處理；
其特征在于：所述第一管道上設有2個以上閥門，相鄰的閥門與閥門之間形成管段；各管段上設有抽真空口和充氣口，可對各管段抽真空和向內充入氣體。
2，如權利要求1所述的四氯化硅制備三氯氫硅的設備，其特征在于：所述后處理裝置包括過濾裝置，冷凝裝置，分餾裝置，各裝置之間通過管道連接。
3，如權利要求2所述的四氯化硅制備三氯氫硅的設備，其特征在于：所述過濾裝置包括旋風分離器和布袋過濾器；兩者之間通過管道連接。
4，如權利要求1或2或3所述的四氯化硅制備三氯氫硅的設備，其特征在于：硅粉活化器的個數為多個，該多個硅粉活化器通過多個第一管道連通至氫化反應器上。
5，如權利要求1或2或3所述的四氯化硅制備三氯氫硅的設備，其特征在于：所述硅粉活化器上與第一管道連接處為物料輸送口，所述儲存倉的個數為偶數，對應的物料輸送口位置呈對稱分布。
6，如權利要求5所述的四氯化硅制備三氯氫硅的設備，其特征在于：所述儲存倉的個數為4個，物料輸送口對稱分布在氫化反應器上。
7，如權利要求1或2或3所述的四氯化硅制備三氯氫硅的設備，其特征在于：閥門的個數為3個，閥門之間形成的管段分為從硅粉活化器向氫化反應器方向的第一管段和第二管段。
8，如權利要求1或2或3所述的四氯化硅制備三氯氫硅的設備，其特征在于：所述第一管道為環形管道，包括一內圓及位于內圓外的外環；內圓用于硅粉和催化劑輸入；外環為冷卻水管道，用于通入冷卻水。
9，如權利要求2所述的所述的四氯化硅制備三氯氫硅的設備，其特征在于：還包括儲存裝置，所述儲存裝置用于收集三氯氫硅。
10，如權利要求1所述的四氯化硅制備三氯氫硅的設備，其特征在于：所述供氣裝置包括氫氣儲存鋼瓶、四氯化硅儲存鋼瓶及氣體混合器。
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