[實(shí)用新型]多固支梁圓膜式力傳感器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920133432.4
• 申請日: 2009-07-07
• 公開（公告）號: CN201464093U
• 公開（公告）日: 2010-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 曹勤華
• 申請（專利權(quán)）人: 曹勤華
• 主分類號: G01L1/22
• 分類號: G01L1/22;G01L9/04
• 代理公司: 深圳市興力橋知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 44246
• 代理人: 董洪波;劉麗華

技術(shù)領(lǐng)域：

本實(shí)用新型涉及力傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計，尤其是圓膜式力傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計。

背景技術(shù)：

當(dāng)今市場上有許多帶硬中心圓膜式測力傳感器，尺寸較小，但大多精度不高，線性差，對安裝要求非常高，對位置敏感。而圓形輪輻式測力傳感器精度高，但尺寸大，帶上下蓋板，工藝比較復(fù)雜。因而急需一種尺寸小，精度高的產(chǎn)品來滿足市場要求。

發(fā)明內(nèi)容：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種尺寸小，精度高的帶硬中心的多固支梁圓膜式力傳感器

它包括頂部中心設(shè)有凸起硬中心的圓形彈性體；圓形彈性體圓膜上圍繞硬中心設(shè)置多個相互對稱的溝槽；溝槽形成的固支梁下表面設(shè)置有電阻應(yīng)變感應(yīng)元件。

溝槽的個數(shù)為偶數(shù)。

溝槽的形狀可以是一字型或L型。

本實(shí)用新型產(chǎn)品外形尺寸小，使用方便，通過硬中心加工螺紋，可以做成拉壓兩用力傳感器。量程范圍比較寬。精度高，對安裝要求小，力點(diǎn)位置變化造成誤差小。密封簡單，不需要蓋板密封，直接封膠，而且由于溝槽的間隙小，具有更好的防護(hù)性能。

附圖說明：

附圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例1的主視圖；

附圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例2的主視圖；

附圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例1的俯視圖；

附圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例2的俯視圖。

具體實(shí)施方式：

本實(shí)用新型的頂部中心設(shè)有凸起硬中心(3)的圓形彈性體(1)；圓形彈性體(1)圓膜上圍繞硬中心設(shè)置多個相互對稱的溝槽(4)；溝槽(4)形成的固支梁下表面設(shè)置有電阻應(yīng)變感應(yīng)元件(2)。溝槽(4)的個數(shù)為偶數(shù)。溝槽(4)的形狀可以是一字型或L型或其它形狀。

實(shí)施例1采用的是雙一字形溝槽(4)，實(shí)施例2采用的是四個L型溝槽(4).

本實(shí)用新型利用帶硬中心(3)多固支梁中心受力變形原理，通過在圓形彈性體(1)上，圍繞硬中心(3)線切割兩條平行溝槽(4)或四個L型溝槽(4)，如圖1、圖3和圖2、圖4，做成多固支梁，將兩條一字型溝槽(4)做成雙固支梁，四個L型溝槽(4)做成四固支梁.在固支梁的兩端下表面通過工藝裝上電阻應(yīng)變感應(yīng)元件(2)，如金屬應(yīng)變計、半導(dǎo)體應(yīng)變計以及硅阻壓阻等，將電阻應(yīng)變感應(yīng)元件連成標(biāo)準(zhǔn)力傳感器橋路，當(dāng)施加力到電阻應(yīng)變感應(yīng)元件(2)的硬中心(3)時，多固支梁兩端產(chǎn)生相反的形變，此時裝在兩端的電阻應(yīng)變感應(yīng)元件(2)電阻產(chǎn)生相反的大小變化，通過橋路將電阻變化轉(zhuǎn)化成電壓信號變化，而電壓信號變化與施加力的大小成正比關(guān)系，達(dá)到檢測力值的作用.