[實(shí)用新型]激光刻劃跟隨除塵裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920133297.3
• 申請(qǐng)日: 2009-06-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201439089U
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-04-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高云峰;劉宇;倪鵬玉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B08B15/00
• 分類號(hào): B08B15/00;B23K26/00;B23K26/42;H01L31/18
• 代理公司: 深圳新創(chuàng)友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44223
• 代理人: 丁銳

【技術(shù)領(lǐng)域】

本實(shí)用新型涉及薄膜太陽(yáng)能電池芯片制造技術(shù)，尤其是可排除廢氣和粉塵的除塵裝置。

【背景技術(shù)】

隨著現(xiàn)代工業(yè)的高速發(fā)展，技術(shù)快速的更新?lián)Q代以及對(duì)能源的需求，現(xiàn)在能源結(jié)構(gòu)正在發(fā)生著根本性的變革。傳統(tǒng)的能源：煤炭、石油、天然氣使用量將在2020年-2040年到達(dá)高峰，而在2050年后將會(huì)逐漸枯竭。替代能源，可再生能源(主要是太陽(yáng)能)從2000年開(kāi)始迅猛發(fā)展，預(yù)計(jì)到2050年使用量將達(dá)到高峰。傳統(tǒng)太陽(yáng)能電池是使用單晶硅或多晶硅薄片，其硅材料應(yīng)用較多，浪費(fèi)嚴(yán)重，硅元素提純工藝復(fù)雜且成本太高。薄膜太陽(yáng)能電池使用非晶硅或其他材料，硅元素使用量很少或不使用硅材料，所以基本無(wú)原料瓶頸。尤其是非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池，成本低，且工藝成熟，所以發(fā)展很快，成為目前薄膜太陽(yáng)能電池最成熟的產(chǎn)品之一。

如圖1所示，非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池是在低成本基板1(主要是玻璃)上沉積、濺射薄膜而成，這種非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池在基板1上共有三層：電極2、非晶硅(a-Si)3和電極4。非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池芯片的刻劃是通過(guò)激光來(lái)實(shí)現(xiàn)的，激光刻劃是根據(jù)這種非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池的制作工藝過(guò)程，分別在不同的工藝時(shí)段選用不同波長(zhǎng)的激光設(shè)備進(jìn)行刻劃，非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池共有三層，所以需要進(jìn)行三次刻劃才能完成整個(gè)制作過(guò)程。

每一次刻劃都會(huì)產(chǎn)生廢氣和灰塵，如果不能及時(shí)將這些廢氣和灰塵排除，就會(huì)發(fā)生廢氣和灰塵污染薄膜太陽(yáng)能電池芯片的現(xiàn)象，形成次品或廢品，既降低了生產(chǎn)效率又造成浪費(fèi)。

【實(shí)用新型內(nèi)容】

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種可排除廢氣和粉塵的除塵裝置。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種激光刻劃跟隨除塵裝置，包括可對(duì)著激光器并可與激光器同步運(yùn)動(dòng)的除塵口，除塵口與激光器分列太陽(yáng)能電池芯片的兩側(cè)，除塵口連接吸塵系統(tǒng)。

本實(shí)用新型適用于激光器位于玻璃基板背向薄膜的一側(cè)的情形。激光器刻劃玻璃基板上的薄膜時(shí)，產(chǎn)生的廢氣和粉塵在玻璃基板背向激光器的一側(cè)，連接吸塵系統(tǒng)的除塵口是對(duì)著激光器的，可及時(shí)將廢氣和灰塵排除。

在此基礎(chǔ)上，進(jìn)一步地：

為了保證除塵口排除廢氣和灰塵的良好效果，設(shè)置驅(qū)動(dòng)除塵口的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和可根據(jù)激光器工作狀態(tài)控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的控制機(jī)構(gòu)。這樣，可以在激光器準(zhǔn)備刻劃時(shí)再控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)工作。

作為本實(shí)用新型的改進(jìn)，設(shè)置與控制機(jī)構(gòu)電性連接的對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)。在激光器移動(dòng)之前就控制除塵口對(duì)準(zhǔn)激光器以使除塵口的中心軸線與激光器發(fā)出的激光束重合，這樣有利于提高吸塵效果。

作為一種具體形式，對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)包括感應(yīng)片和光電開(kāi)關(guān)，光電開(kāi)關(guān)與控制機(jī)構(gòu)電性連接，感應(yīng)片和光電開(kāi)關(guān)二者中的一個(gè)位置固定、另一個(gè)與除塵口同步運(yùn)動(dòng)。

可以設(shè)置承載除塵口的除塵口安裝板，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括動(dòng)力源和動(dòng)力傳送件，動(dòng)力傳送件分別與動(dòng)力源和除塵口安裝板形成傳動(dòng)配合。

動(dòng)力源可選用電機(jī)，動(dòng)力傳送件可選用同步帶或鏈條。

本實(shí)用新型的有益效果是：在激光刻劃過(guò)程中及時(shí)跟隨除塵，降低廢氣和灰塵對(duì)電池芯片造成污染的可能性，減少次品或廢品的發(fā)生率，提供生產(chǎn)效率，避免浪費(fèi)，降低生產(chǎn)成本。

【附圖說(shuō)明】

下面通過(guò)具體實(shí)施方式并結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明：

圖1是太陽(yáng)能電池芯片沿厚度方向的剖視示意圖；

圖2是本實(shí)用新型一種具體實(shí)施方式的立體示意圖；

圖3是圖2的主視圖；

圖4是圖2所示除塵裝置在工作狀態(tài)下結(jié)合激光器200和太陽(yáng)能電池芯片300的示意圖。

【具體實(shí)施方式】

圖2和圖3示出了本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式。

如圖2所示，該除塵裝置包括控制單元(附圖中未示出)和機(jī)架100；機(jī)架100的兩端分別固定有安裝板5，電機(jī)安裝板6位于機(jī)架100的一端，機(jī)架100的左端裝設(shè)有一個(gè)同步帶輪7，安裝在電機(jī)安裝板6上的同步電機(jī)8的輸出軸上安裝有另一個(gè)同步帶輪7，同步帶9與兩個(gè)同步帶輪7相配合；排煙管安裝板10的兩端固定有連接塊11，同步帶9的兩端分別連接兩個(gè)連接塊11，兩個(gè)排煙管12固定在排煙管安裝板10上，排煙管12的下端為除塵口121，排煙管12的上端與吸塵系統(tǒng)(附圖中未示出)連通，機(jī)架100上的導(dǎo)軌13對(duì)排煙管安裝板10的運(yùn)動(dòng)起導(dǎo)向作用；機(jī)架100上設(shè)有兩個(gè)光電開(kāi)關(guān)14，排煙管安裝板10上固定有與光電開(kāi)關(guān)14相適配的感應(yīng)片15；兩個(gè)光電開(kāi)關(guān)14、同步電機(jī)8分別與控制單元電性連接。