[實用新型]可調角度百葉窗式節流閥

無效

• 申請號: 200920133065.8
• 申請日: 2009-06-25
• 公開（公告）號: CN201427991Y
• 公開（公告）日: 2010-03-24
• 發明（設計）人: 王宇;張強
• 申請（專利權）人: 深圳市振恒昌實業有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種可調角度百葉窗式節流閥，尤其是一種應用于真空鍍膜機上穩定真空氣壓的節流閥。

背景技術

在真空離子鍍膜機工作中，充工藝氣體，要求真空度在0.1～1Pa時保持穩定的壓強。在行業內有種解決方法：一種在主泵與抽氣口之間加旁通閥；另一種方法在主閥與室體之間加節流閥。前者成本高，占空間大；后者成本低，安裝在爐內，不占外部空間。

目前現有真空離子鍍膜機鍍膜時，要求真空度抽到很高時，再向真空室里充入工藝氣體，充一定量的氣體后，要求真空度穩定在某個值，這個值一般在0.1～1Pa之間。而在這個真空度范圍內，傳統擴散泵抽速不穩定，而且會把大量工藝氣體抽走，使工藝無法進行。中國專利CN2206299所述的抽真空裝置采用傳統的擴散泵。中國專利CN2480563公布了一種雙燃料引擎進氣節流閥，其由步進電機作為動力源，帶動蝶閥的開閉，但是如果將其應用到真空穩定度要求高的鍍膜機設備中就不能有效改變真空接口處的氣體流導。

實用新型內容

本實用新型解決的問題是提供一種可調角度百葉窗式節流閥，通過步進電機帶動閥體本體的轉軸轉動，通過轉軸轉動使節流板旋轉，從而改變真空接口處的流導，降低泵對工藝氣體的抽除量。

為解決上述問題，本實用新型的可調角度百葉窗式節流閥包括動力源和閥體本體，動力源包括步進電機和由步進電機帶動的齒輪，齒輪包括小齒輪和大齒輪，大齒輪固接閥體本體的引出軸；閥體本體包括有多片節流板，所有節流板通過連接桿連接在一起，中間位置的節流板一端固接引出軸，另一端固接轉軸，除中間位置的其它節流板兩端都固接有轉軸；節流板是對稱形狀的平板；多片節流板的數量為三片或三片以上，總數量為奇數個；節流板的轉動是由引出軸的帶動的，并且同時進行轉動，節流板轉過不同角度，在真空接口處形成不同的流導，可以實現不同的充氣量，真空度穩定在某一相同值；采用多塊節流板，可以減小節流板回轉半徑，減小裝配空間。

步進電機是本裝置的動力源，步進電機的轉動帶動小齒輪，小齒輪嚙合大齒輪，大齒輪將扭矩傳遞給引出軸，引出軸的轉動實現節流閥的開關。步進電機通過步進電機控制器驅動。步進電機控制器把PLC發出的脈沖信號加以放大驅動步進電機。步進電機的轉速與脈沖信號的頻率成正比，控制步進脈沖信號的頻率，可以對電機精確調速；控制步進脈沖的個數，可以對電機精確定位。

本裝置結構簡單，占空間位置小。采用步進電機控制，可以對節流閥的開關位置定位，克服了傳統汽缸控制對中間過程不能控制的弱點。采用齒輪傳動，裝配簡單，控制精度高。節流板采用多片可旋轉式對稱平板同時轉動實現控制氣體流導，所以稱之為百葉窗式節流閥。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型做進一步的詳細的說明：

圖1為本實用新型節流閥體裝配圖。

圖2為本實用新型的節流板示意圖。

圖3為本實用新型的閥體本體轉軸旋轉90度時的軸向視圖。

圖4為本實用新型的動力源裝置圖。

具體實施方式

如圖1所示，動力源23固接引出軸1，引出軸1固接中間位置的節流板5，中間位置的節流板5的另一端通過螺栓固接在軸承4上，只能轉動，傳遞扭矩，所有節流板5通過連接桿8連接在一起，引出軸1的轉動帶動中間位置的節流板5翻轉并帶動其它節流板5一起轉動達到節流目的；閥體本體的框架由平行放置的橫鋼3和立鋼2的端部固接構成。

如圖2所示，節流板5通過螺栓6鎖固在轉軸上，各距兩邊三分之一位置，對稱分布著四個固定螺栓的缺口，對應的螺栓7螺緊在節流板5上。

如圖3所示，當節流板5轉動90度角度時，節流板5橫截面垂直于立鋼2，此時連接桿8穿過固定座9，平行于立鋼2，固定座9固定于節流板上，并由螺栓7固定在節流板的缺口間，可旋轉。

如圖4所示，步進電機20固定在連接板21上，連接板21通過螺栓10緊固于固定板11上，步進電機20的啟動，帶動套接在步進電機20外軸上的小齒輪12，小齒輪12帶動與其周邊嚙合的大齒輪18，同時大齒輪18帶動固接在一起的引出軸1，大齒輪18與引出軸1端部采用螺釘19鎖緊固接，引出軸1穿過嵌于座體14內側的深溝球軸承16，深溝球軸承16通過骨架膠封15密封，密封效果好，轉動靈活；壓蓋13套接在座體14的外圍，大齒輪的轉動將扭矩傳遞給引出軸1，引出軸1的轉動帶動節流閥5圍繞軸承4以一定角度的轉動，達到節流的目的。