[實用新型]硅基電容式麥克風

有效

• 申請號: 200920130178.2
• 申請日: 2009-02-13
• 公開（公告）號: CN201369824Y
• 公開（公告）日: 2009-12-23
• 發明（設計）人: 張睿
• 申請（專利權）人: 瑞聲聲學科技(深圳)有限公司;瑞聲聲學科技(常州)有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

【技術領域】

本實用新型涉及一種微型麥克風，尤其涉及一種微機電系統(MEMS)硅基電容式麥克風。

【背景技術】

隨著無線通訊的發展，全球移動電話用戶越來越多，用戶對移動電話的要求已不僅滿足于通話，而且要能夠提供高質量的通話效果，尤其是目前移動多媒體技術的發展，移動電話的通話質量更顯重要，移動電話的麥克風作為移動電話的語音拾取裝置，其設計好壞直接影響通話質量。

目前應用較多的麥克風包括傳統的駐極體麥克風和新興的微電機系統麥克風(Micro-Electro-Mechanical-System?Microphone，簡稱MEMS麥克風)，MEMS麥克風是基于硅基半導體材料制成，故又稱硅基麥克風。其封裝體積比傳統的駐極體麥克風小，性能也佳。因而，近幾年，硅基MEMS麥克風取得了很大的發展空間。

如圖1所示，為現有常見的MEMS硅基麥克風1的剖視示意圖，其包括內部設有空腔的基底10和振膜11。振膜與背極板(未圖示)相對且與背極板間隔一定距離，其周邊110整體被固定于基底上。當聲音氣流傳遞到振膜上時，振膜上下振動以產生位移，改變電容器的電容量，電容量的改變使電容器的輸出端產生相應的交變電場，形成了與聲波信號對應的電信號，從而完成聲電轉換的功能。該類麥克風振膜的周邊整體被固定，使得振膜受約束多，膜應力相應會增大，從而導致產品的靈敏度會有所下降。

【實用新型內容】

本實用新型所解決的技術問題是提供一種靈敏度高的硅基電容式麥克風。

根據上述需解決的技術問題，設計了一種硅基電容式麥克風，包括中心設有空腔的基底、收容于空腔內的背極板、與背極板相對且間隔一定距離的振膜，基底包括上表面，所述振膜包括位于中央位置的振動主體和由振動主體外周側延伸而出的多個支撐臂，所述振膜與基底上表面位于同一表面、并通過支撐臂與基底相連。

作為本實用新型進一步改進，所述多個支撐臂關于振動主體的中心點相對稱。

作為本實用新型進一步改進，所述多個支撐臂與振動主體的中心點位于一條直線上。

作為本實用新型進一步改進，所述支撐臂至少為4個。

本實用新型振膜通過支撐臂與基底相連而被固定，與現有技術相比，減少了振膜周邊的約束，膜應力相應減低，有效地提高了產品的靈敏度。

【附圖說明】

圖1為本實用新型背景技術中揭示的麥克風剖面結構示意圖；

圖2為本實用新型實施例的立體結構示意圖；

圖3為本實用新型實施例剖面結構立體示意圖；

圖4為本實用新型實施例振膜的示意圖。

【具體實施方式】

下面結合附圖，對本實用新型硅基電容式麥克風作詳細說明。

本實用新型硅基電容式麥克風2如圖2所示，其主要用于手機上，接受聲音并將聲音轉化為電信號，本實用新型是通過改變振膜結構以達到提高硅基電容式麥克風的靈敏度。

如圖3所示，為本實用新型實施例硅基電容式麥克風2，包括基底20、背極板21、振膜22?；装ㄉ媳砻?01、在其中心設有空腔200，背極板21收容于空腔內，在背極板上還設有通氣孔210。振膜22包括位于中央位置的振動主體220和由振動主體外周側延伸而出的多個支撐臂221，支撐臂221與基底20相連以使振膜被支撐及定位于基底空腔內，并且振膜與基底的上表面201位于同一水平面上，即振膜與基底的上表面平齊。振膜22與背極板21相對且間隔一定距離，振膜可相對背極板上下振動。

如圖4所示，本實施例支撐臂221的數量為12個，均關于振動主體的中心點相對稱。各支撐臂與振動主體的中心點位于一條直線上，即各支撐臂相對于振動主體的中心點呈發射狀。本實用新型支撐臂的數量不限于12個，可以為8個、16個、等等，但至少為4個。本實用新型支撐臂的形狀也不限于圖中的形狀。

本實用新型硅基電容式麥克風的振動主體相對背極板上下振動并與背極板形成電容效應。當聲音氣流傳遞到振膜上時，振動主體上下振動以產生位移，改變電容器的電容量，電容量的改變使電容器的輸出端產生相應的交變電場，形成與聲波信號對應的電信號，從而完成聲電轉換的功能。

與現有技術存在的將振膜周邊整體被固定相比，本實用新型振膜通過支撐臂與基底相連而使振膜定位，減少了振膜周邊的約束，膜應力相應減低，可有效地提高了產品的靈敏度。

以上所述的僅是本實用新型的實施方式，在此應當指出，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型創造構思的前提下，還可以做出改進，但這些均屬于本實用新型的保護范圍。