[實(shí)用新型]晶硅方坯磨削加工專用磨床

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920124784.3
• 申請(qǐng)日: 2009-07-16
• 公開（公告）號(hào): CN201511280U
• 公開（公告）日: 2010-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 歐長(zhǎng)勁;李興旺
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): B24B7/17
• 分類號(hào): B24B7/17;B24B7/22;B24B9/06
• 代理公司: 杭州天正專利事務(wù)所有限公司 33201
• 代理人: 王兵;黃美娟

1.晶硅方坯磨削加工專用磨床，其特征在于：包括底座，所述的底座上設(shè)有：

導(dǎo)軌和安放晶硅方坯的工作臺(tái)，所述的工作臺(tái)可滑動(dòng)地安裝在所述的導(dǎo)軌上，所述的工作臺(tái)與固定在底座上的工作電機(jī)連動(dòng)；

對(duì)稱地設(shè)置在導(dǎo)軌兩側(cè)、對(duì)晶硅方坯兩側(cè)面進(jìn)行磨削的第一側(cè)面磨削動(dòng)力頭和第二側(cè)面磨削動(dòng)力頭；

對(duì)稱地設(shè)置在導(dǎo)軌兩側(cè)、對(duì)晶硅方坯的四個(gè)棱角進(jìn)行倒角的第一倒角機(jī)構(gòu)和第二倒角機(jī)構(gòu)，所述的倒角機(jī)構(gòu)包括倒角支架，所述的倒角支架上下對(duì)稱地裝有對(duì)晶硅方坯倒角的上倒角磨削動(dòng)力頭和下倒角磨削動(dòng)力頭，所述的倒角磨削動(dòng)力頭的安裝面與水平面成45°夾角；

所述的底座上設(shè)有將晶硅方坯從所述的工作臺(tái)裝卸的搬運(yùn)機(jī)械手和位于導(dǎo)軌一側(cè)、將卸下的晶硅方坯翻轉(zhuǎn)90°的翻轉(zhuǎn)臺(tái)；所述的搬運(yùn)機(jī)械手包括搬運(yùn)支架，所述的搬運(yùn)支架上設(shè)有搬運(yùn)電機(jī)和與所述的電機(jī)連動(dòng)的叉形搬運(yùn)爪；所述的工作臺(tái)上設(shè)有允許所述的搬運(yùn)爪插入、以便裝卸晶硅方坯的凹槽；

所述的翻轉(zhuǎn)臺(tái)包括前后對(duì)稱、可滑動(dòng)地設(shè)置于所述的搬運(yùn)爪兩側(cè)的前翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和后翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括正對(duì)所述的晶硅方坯側(cè)面的夾持爪，所述的夾持爪與一可90°回轉(zhuǎn)的擺動(dòng)氣缸連動(dòng)。

2.如權(quán)利要求1所述的晶硅方坯磨削加工專用磨床，其特征在于：所述的導(dǎo)軌兩側(cè)對(duì)稱地設(shè)有獲取晶硅方坯的待加工的側(cè)面和棱角的位置信息的第一對(duì)中機(jī)構(gòu)和第二對(duì)中機(jī)構(gòu)，所述的對(duì)中機(jī)構(gòu)包括對(duì)中支架，所述的對(duì)中支架上設(shè)有對(duì)準(zhǔn)晶硅方坯的定位檔塊。

3.如權(quán)利要求2所述的晶硅方坯磨削加工專用磨床，其特征在于：所述的對(duì)中支架上設(shè)有滑軌，所述的滑軌上可滑動(dòng)地安裝有對(duì)中滑臺(tái)，所述的定位檔塊通過(guò)一水平軸與所述的對(duì)中滑臺(tái)連接，所述的對(duì)中滑臺(tái)通過(guò)對(duì)中進(jìn)給機(jī)構(gòu)與帶動(dòng)所述的對(duì)中滑臺(tái)移動(dòng)的電機(jī)連動(dòng)，所述的第一對(duì)中機(jī)構(gòu)的第一定位檔塊與所述第一水平軸鉸接。

4.如權(quán)利要求3所述的晶硅方坯磨削加工專用磨床，其特征在于：所述的對(duì)中機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述的側(cè)面磨削動(dòng)力頭和所述的倒角機(jī)構(gòu)之間，所述的搬運(yùn)機(jī)械手設(shè)置于所述的對(duì)中機(jī)構(gòu)和所述的倒角機(jī)構(gòu)之間。

5.如權(quán)利要求1-4之一所述的晶硅方坯磨削加工專用磨床，其特征在于：所述的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括底座，所述的底座上設(shè)有滑動(dòng)軌道和可前后滑動(dòng)地安裝在所述的滑動(dòng)軌道上的滑臺(tái)，所述的夾持爪可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述的滑臺(tái)上，所述的擺動(dòng)氣缸固定在所述的滑臺(tái)上；所述的底座上固定有與所述的滑臺(tái)連接、推動(dòng)滑臺(tái)前后移動(dòng)的氣缸。

6.如權(quán)利要求5所述的晶硅方坯磨削加工專用磨床，其特征在于：所述的夾持爪包括夾持架和與所述的夾持架連接的上夾持片和下夾持片；所述的上夾持片上固定有上螺母，所述的下夾持片上固定有下螺母，所述的上螺母和所述的下螺母的螺紋旋向相反；所述的夾持架上固定有與所述的上、下螺母配合的螺桿，所述的螺桿的與所述的上螺母配合的上半部的螺紋旋向與所述的上螺母的螺紋旋向相同，所述的下半部的螺紋旋向與所述的下螺母的螺紋旋向相同；

所述的夾持架上固定有滑動(dòng)導(dǎo)桿，所述的夾持片可滑動(dòng)地穿設(shè)于所述的滑動(dòng)導(dǎo)桿上。

7.如權(quán)利要求6所述的晶硅方坯磨削加工專用磨床，其特征在于：所述的底座上設(shè)有機(jī)械手支架，所述的搬運(yùn)支架架設(shè)在所述的機(jī)械手支架的兩側(cè)的軌道上，所述的搬運(yùn)支架通過(guò)絲桿機(jī)構(gòu)與固定在所述的機(jī)械手支架上的電機(jī)連動(dòng)；

所述的搬運(yùn)機(jī)械手的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)為螺母螺桿機(jī)構(gòu)，所述的搬運(yùn)支架上設(shè)有搬運(yùn)滑軌，所述的搬運(yùn)滑軌上穿設(shè)有搬運(yùn)滑臺(tái)，所述的搬運(yùn)爪固定在所述的搬運(yùn)滑臺(tái)上。

8.如權(quán)利要求7所述的晶硅方坯磨削加工專用磨床，其特征在于：所述的底座上設(shè)有磨削滑軌，所述的側(cè)面磨削動(dòng)力頭通過(guò)磨削滑臺(tái)可移動(dòng)地安裝在所述的磨削滑軌上，所述的磨削滑臺(tái)通過(guò)磨削進(jìn)給機(jī)構(gòu)與固定在底座上、帶動(dòng)磨削滑臺(tái)移動(dòng)的進(jìn)給電機(jī)連動(dòng)；

所述的倒角磨削動(dòng)力頭的安裝面為滑軌滑臺(tái)組合，所述的滑軌固定在所述的倒角支架上，所述的滑臺(tái)與所述的倒角磨削動(dòng)力頭連接，所述的滑臺(tái)通過(guò)倒角進(jìn)給機(jī)構(gòu)與倒角進(jìn)給電機(jī)連動(dòng)。

9.如權(quán)利要求8所述的晶硅方坯磨削加工專用磨床，其特征在于：所述的工作臺(tái)上設(shè)有夾緊所述的晶硅方坯的夾緊機(jī)構(gòu)，所述的夾緊機(jī)構(gòu)包括固定在所述的工作臺(tái)上的裝夾工作臺(tái)，所述的裝夾工作臺(tái)上將晶硅方坯夾緊的壓緊塊，所述的壓緊塊與一夾緊氣缸連動(dòng)；所述的允許搬運(yùn)爪插入的凹槽設(shè)于所述的裝夾工作臺(tái)上。