[實用新型]一種基于雙頻干涉原理的直線度及其位置的測量裝置

無效

• 申請號: 200920123265.5
• 申請日: 2009-06-22
• 公開（公告）號: CN201413130Y
• 公開（公告）日: 2010-02-24
• 發明（設計）人: 陳本永;張恩政;嚴利平;楊濤;周硯江
• 申請（專利權）人: 浙江理工大學
• 主分類號: G01B11/26
• 分類號: G01B11/26;G01B11/00;G01B11/02
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司
• 代理人: 林懷禹

1、一種基于雙頻干涉原理的直線度及其位置的測量裝置，其特征在于：光源為橫向塞曼效應He-Ne雙頻激光器(1)發出的激光束經普通分光鏡(2)分成兩束，第一反射光束入射至第一檢偏器(3)，被第一光電探測器(4)接收作為參考信號，第一透射光束經消偏振分光棱鏡(5)再次分為第二反射光束和第二透射光束，第二反射光束入射到偏振分光棱鏡(8)，第二透射光束經渥拉斯頓棱鏡(6)透射后將f₁和f₂兩個頻率的光分成兩路測量光束，射向由直角棱鏡組成的測量反射鏡(7)，測量反射鏡放置于被測對象(13)上，測量反射鏡在被測對象上移動時，產生含有多普勒頻差±Δf₁和±Δf₂的兩測量光束f₁±Δf₁和f₂±Δf₂，經測量反射鏡(7)反射后至渥拉斯頓棱鏡(6)的另一點匯合成一束光，再次透過渥拉斯頓棱鏡(6)后射向偏振分光棱鏡(8)，其中，頻率為f₁±Δf₁的光透射偏振分光棱鏡(8)與第二反射光束中經偏振分光棱鏡(8)反射的頻率為f₂的光形成第一路測量光束，頻率為f₂±Δf₂的光經偏振分光棱鏡(8)反射后與第二反射光束中經偏振分光棱鏡(8)透射的頻率為f₁的光形成第二路測量光束；第一路測量光束入射至第二檢偏器(9)，檢偏器的透振方向與第一路測量光束的兩正交線偏振光成45°角，將兩正交的線偏振光分解到同一透振方向上，形成拍頻，被第二光電探測器(10)接收形成第一路測量信號，其頻率為f₁-f₂±Δf₁；第二路測量光束入射第三檢偏器(11)，檢偏器的透振方向與第二路測量光束的兩正交線偏振光成45°角，將兩正交的線偏振光分解到同一透振方向上，形成拍頻，被第三光電探測器(12)接收形成第二路測量信號，其頻率為f₁-f₂±Δf₂，第一路測量信號、第二路測量信號和參考信號經后續的數據采集和機算機進行處理和顯示，得到測量的直線度及其位置。