[實用新型]一種線性離子束源裝置

有效

• 申請號: 200920120060.1
• 申請日: 2009-05-14
• 公開（公告）號: CN201400715Y
• 公開（公告）日: 2010-02-10
• 發明（設計）人: 汪愛英;代偉;孫麗麗;吳國松
• 申請（專利權）人: 中國科學院寧波材料技術與工程研究所
• 主分類號: C23C14/46
• 分類號: C23C14/46;H05H1/46
• 代理公司: 寧波誠源專利事務所有限公司
• 代理人: 袁忠衛

1、一種線性離子束源裝置，包括有：陰極(1)，陽極(2)，所述陰極(1)和所述陽極(2)之間形成有電離區域(7)，用于將可電離的氣體引導進入所述電離區域(7)的氣體供應通道(4)，以及用于在所述電離區域(7)產生磁場分布的磁體(3)，其特征在于：所述陰極(1)上開設有一環形縫隙(13)，從而將陰極(1)分割為處于環形縫隙(13)中間的第一陰極(11)和處于環形縫隙(13)外圍的第二陰極(12)，而所述陽極(2)也呈環形結構，并且所述陽極(2)置于與陰極(1)的環形縫隙(13)相對應的位置。

2、根據權利要求1所述的線性離子束源裝置，其特征在于：所述陰極(1)上開設有的環形縫隙(13)的寬度為2～5mm。

3、根據權利要求1或2所述的線性離子束源裝置，其特征在于：所述電離區域(7)的高度為2～5mm。

4、根據權利要求1或2所述的線性離子束源裝置，其特征在于：所述環形縫隙(7)呈環形跑道形狀。

5、據權利要求1或2所述的線性離子束源裝置，其特征在于：所述磁體(3)為一永磁體，并且該永磁體的N極與第一陰極(11)相抵。

6、根據權利要求1或2所述的線性離子束源裝置，其特征在于：還包括有冷卻水循環管道(5)。