[實(shí)用新型]太陽能電池?cái)U(kuò)散用源瓶

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920118313.1
• 申請(qǐng)日: 2009-04-23
• 公開（公告）號(hào): CN201402817Y
• 公開（公告）日: 2010-02-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 向小龍;何旭梅;周善培;何旭芳;酈曉苗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江弘晨光伏能源有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司
• 代理人: 杜 軍

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于光電技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種太陽能電池片生產(chǎn)過程中的摻雜雜質(zhì)源(POCL₃)安全有效的保存的擴(kuò)散用源瓶。

背景技術(shù)

在太陽能電池片生產(chǎn)中，需要將P型襯底硅片表面通過高溫?cái)U(kuò)散方式形成一薄層N型層，從而形成太陽能電池所必須的PN結(jié)。目前摻雜雜質(zhì)源多是存放于石英源瓶中，并通過高純氮?dú)鈹y帶進(jìn)入工藝反應(yīng)。現(xiàn)有的源瓶為石英玻璃部件，使用中容易出現(xiàn)炸裂。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種POCL₃液態(tài)源存放瓶。

本實(shí)用新型包括圓筒形的石英瓶本體，石英瓶本體內(nèi)豎直設(shè)置有進(jìn)氣管和出氣管；進(jìn)氣管的一端距離石英瓶本體瓶底4～6mm，另一端與進(jìn)氣四氟軟接頭連接；出氣管的一端伸入石英瓶本體6～8mm，另一端與出氣四氟軟接頭連接；石英瓶本體頂部設(shè)置有充裝口。

本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，進(jìn)氣管與出氣管通過四氟軟接頭連接，充裝口同樣采用四氟活接密封，有效避免了進(jìn)出氣口斷裂現(xiàn)旬象的發(fā)生。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，太陽能電池?cái)U(kuò)散用源瓶包括硅圓筒形的石英瓶本體4，石英瓶本體4內(nèi)豎直設(shè)置有進(jìn)氣管6和出氣管3；進(jìn)氣管的一端距離石英瓶本體瓶底4～6mm，另一端與進(jìn)氣四氟軟接頭1連接；出氣管3的一端伸入石英瓶本體6～8mm，另一端與出氣四氟軟接頭2連接。石英瓶本體頂部設(shè)置有充裝口5，用來充裝工藝用POCL3液體。