[實(shí)用新型]一種石英密封爐門

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920118312.7
• 申請(qǐng)日: 2009-04-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201402049Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-02-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何旭梅;向小龍;酈曉苗;何天力;蔡未央
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江弘晨光伏能源有限公司
• 主分類號(hào): F27D1/18
• 分類號(hào): F27D1/18
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司
• 代理人: 杜 軍

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于光電技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種太陽(yáng)能電池片摻雜生產(chǎn)過(guò)程中的高密封性閉管擴(kuò)散爐用石英爐門。

背景技術(shù)

在太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)中，需要將P型襯底硅片表面通過(guò)高溫?cái)U(kuò)散方式形成一薄層N型層，從而形成太陽(yáng)能電池所必須的PN結(jié)。目前常用的工藝方式是高溫(900℃)密閉N型雜質(zhì)摻雜擴(kuò)散。由于在高溫反應(yīng)過(guò)程中產(chǎn)生較多對(duì)人體及環(huán)境有害的副產(chǎn)物，為了避免副產(chǎn)物從反應(yīng)室泄漏影響到人體健康及環(huán)境，需要設(shè)置石英爐門，現(xiàn)有的開(kāi)口式擴(kuò)散石英爐門與石英反應(yīng)腔容易發(fā)生碰撞導(dǎo)致?lián)p壞。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種石英密封爐門。

本實(shí)用新型包括圓蓋形的石英爐門本體，在石英爐門本體一側(cè)的表面沿圓周開(kāi)有燕尾槽，耐高溫硅氟密封圈設(shè)置在燕尾槽內(nèi)；石英爐門本體開(kāi)有正方孔，SiC槳固定在正方孔上。圓柱形密封筒垂直固定在石英爐門本體另一側(cè)的表面，圓柱形密封筒的端面與正方孔位置對(duì)應(yīng)。

本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，不僅密封可靠而且避免了碰撞損壞。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1的平面結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1和2所示，一種石英密封爐門包括圓蓋形的石英爐門本體1，在石英爐門本體1一側(cè)的表面沿圓周開(kāi)有燕尾槽，耐高溫硅氟密封圈3設(shè)置在燕尾槽內(nèi)；石英爐門本體1開(kāi)有正方孔2，SiC槳固定在正方孔上。圓柱形密封4筒垂直固定在石英爐門本體1另一側(cè)的表面，圓柱形密封筒的端面與正方孔位置對(duì)應(yīng)。