[實用新型]行星研磨機

有效

• 申請號: 200920114902.2
• 申請日: 2009-03-05
• 公開（公告）號: CN201361820Y
• 公開（公告）日: 2009-12-16
• 發明（設計）人: 胡林寶
• 申請（專利權）人: 胡林寶
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04;B24B29/00;H01L21/304
• 代理公司: 杭州裕陽專利事務所（普通合伙）
• 代理人: 應圣義

1、一種行星研磨機，包括傳動機構、供液機構、研磨盤，以及帶動研磨盤運動的內齒盤(107)和外齒盤(108)，所述研磨盤由設有若干個工裝沉孔(1)、多個流液孔(8)的工裝層(10)，以及設有軸向深度、徑向均分研磨液嵌槽(4)的研磨層(11)構成；其特征是：所述工裝層(10)和研磨層(11)分體，通過緊固件聯接成整體，所述研磨層(11)由研磨液嵌槽層、實體層和凸筋網格層構成，實體層上設有與所述流液孔(8)相對應的通孔(7)，所述流液孔(8)經通孔(7)與研磨液嵌槽(4)相通，凸筋網格層的凸筋(2)上設有多個聯接沉孔(9)。

2、如權利要求1所述的行星研磨機，其特征是：所述多個聯接沉孔(9)呈對稱性均布狀。

3、如權利要求1所述的行星研磨機，其特征是：所述凸筋網格層的每根凸筋(2)的高度相一致，并處在一個平面上。

4、如權利要求1所述的行星研磨機，其特征是：所述實體層的厚度為4-8毫米。

5、如權利要求1或2所述的行星研磨機，其特征是：所述凸筋網格層中相鄰直線狀的凸筋(2)的夾角為90度。

6、如權利要求1或2所述的行星研磨機，其特征是：所述凸筋網格層中相鄰直線狀的凸筋(2)的夾角為60度或120度。