[實用新型]一種調制信號分析異物檢測裝置

無效

• 申請號: 200920113567.4
• 申請日: 2009-02-09
• 公開（公告）號: CN201382905Y
• 公開（公告）日: 2010-01-13
• 發明（設計）人: 高秀敏;沈海濱;蔣惠忠
• 申請（專利權）人: 高秀敏;沈海濱
• 主分類號: G01N21/90
• 分類號: G01N21/90
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1、一種調制信號分析異物檢測裝置，包括光源組件、光束整形器件、成像物鏡組件、光電探測器陣列、信號發生器、信號解調器，其特征在于：光束整形器件、成像物鏡組件、光電探測器陣列依次設置在光源組件出射光束光路上，被檢測物質設置在光束整形器件和成像物鏡組件之間的光路上；光電探測器陣列設置在成像物鏡的像平面上；光源組件和信號解調器均與信號發生器連接；信號解調器與光電探測器陣列連接。

2、如權利要求1所述的一種調制信號分析異物檢測裝置，其特征在于：所述的光源組件為非相干光源組件、相干光源組件、非相干光源陣列、相干光源陣列、光纖光源的一種。

3、如權利要求1所述的一種調制信號分析異物檢測裝置，其特征在于：所述的光束整形器件為光束擴束器、光束準直器、光束準直整形器、光束擴束整形器的一種。

4、如權利要求1所述的一種調制信號分析異物檢測裝置，其特征在于：所述的成像物鏡組件為消色差物鏡、復消色差物鏡、平場成像物鏡、偏振光成像物鏡、相稱成像物鏡的一種。

5、如權利要求1所述的一種調制信號分析異物檢測裝置，其特征在于：所述的光電探測器陣列為光敏管陣列、光電二極管陣列、線陣電荷耦合器件、面陣電荷耦合器件、線陣互補型金屬氧物半導體晶體管、面陣互補型金屬氧物半導體晶體管、光學微通道板的一種。

6、如權利要求1所述的一種調制信號分析異物檢測裝置，其特征在于：所述的信號發生器為模擬信號發生器、數字信號發生器、混合型信號發生器的一種。

7、如權利要求1所述的一種調制信號分析異物檢測裝置，其特征在于：所述的信號解調器為模擬信號解調器、數字信號解調器、軟件信號解調處理模塊的一種。