[實用新型]一種氣相沉積爐氣路連接裝置

有效

• 申請號: 200920110399.3
• 申請日: 2009-07-24
• 公開（公告）號: CN201459238U
• 公開（公告）日: 2010-05-12
• 發明（設計）人: 陳煥軍;鄭京松;孟月
• 申請（專利權）人: 北京清大天達光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 胡小永

技術領域

本實用新型涉及氣路對接裝置，具體地說，涉及一種氣相沉積爐氣路連接裝置。

背景技術

在薄膜太陽能電池制造過程中，有一個工作過程是將裝滿玻璃基板的夾具預加熱至250℃左右后，將其推入氣相沉積爐(爐內溫度約300℃)，對氣路的公頭、母頭完成連接，然后關閉爐門，對夾具注入工作氣體，執行爐內工藝過程，最后打開爐門，拆開氣路連接，人工將夾具拉出氣相沉積爐。在這個工作過程中，氣路的對接和脫離都是通過人工完成的，操作人員在高溫環境下，完成氣路的對接、脫離是一件比較困難且危險的工作。目前的技術下，機器人大多只能完成簡單的動作，要想將幾乎是處于自由狀態的氣管完成對接和分離，幾乎是不可能完成的事情。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種氣相沉積爐(PIASMA?enhancedchemical?vapor?deposition)氣路自動對接機構，可以在不增加機器動作的前提下，利用簡單的機械結構，只靠推拉夾具就能同時完成氣管對接和分離的動作。解決了自動生產線中氣路對接和分離的難題。

為實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

提供一種氣相沉積爐氣路連接裝置，包括爐內氣管接頭座，連接爐內氣管接頭座的爐內氣管接頭，與爐內氣管接頭相對的一端有一波紋管管口，波紋管的另一管口連接在夾具接頭座上，夾具左右固定在該氣相沉積爐的導軌上，波紋管管口與爐內氣管接頭相對的一端與夾具氣管接頭連接在一起，該夾具氣管接頭另一端的內孔為錐管段，爐內氣管接頭與夾具氣管接頭連接的一端是錐形的，其形狀與夾具氣管接頭的錐管段相配合。

其中，夾具氣管接頭的外表面有一臺階，導軌上固定有安裝板，安裝板上連接調節板，調節板由兩個相互對接平面組成，調節板的另一面與豎直放置的立板連接，立板上有兩個通孔，波紋管穿過立板的下通孔，夾具氣管接頭一側穿過立板的上通孔，另一側穿過安裝架上的通孔，夾具氣管接頭外表面的臺階安裝在立板6和安裝架4之間安裝架與立板之間連接。

利用本實用新型提供的一種氣相沉積爐氣路連接裝置，可以在不增加機器動作的前提下，僅靠推拉夾具就能同時完成氣管對接和分離的動作，夾具通過牽引連接部被推入爐內，通過氣管接頭的錐面完成自動調整和密封，利用立板本身彈性變形消除前后移動的誤差，同時提供一定的預緊力。解決了自動生產線中氣路對接和分離的難題。

附圖說明

圖1為本實用新型氣相沉積爐氣路連接裝置剖面圖；

圖2為本實用新型氣相沉積爐氣路連接裝置立體圖；

圖3為調節板的結構示意圖；

圖4為立板的結構示意圖；

圖5為夾具氣管接頭的剖視圖；

圖6為爐內氣管接頭的結構示意圖。

圖中：

1、爐內氣管接頭座；????????2、夾具氣管接頭；

3、波紋管；????????????????4、安裝架；

5、爐內氣管接頭；??????????6、立板；

7、調整板；????????????????8、安裝板；

9、夾具；??????????????????10、夾具接頭座；

11、導軌

具體實施方式

以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。