[實(shí)用新型]硅片噴淋清洗槽

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920109664.6
• 申請日: 2009-06-30
• 公開（公告）號: CN201440405U
• 公開（公告）日: 2010-04-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 于皓潔;杜飛龍
• 申請（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;B08B3/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于一種清洗裝置，具體是一種用于硅片清洗的裝置，特別是將整籃硅片同時進(jìn)行全方位清洗的清洗裝置。

背景技術(shù)

常規(guī)的硅片清洗工藝是采用靜態(tài)噴淋清洗，所用噴淋管為固定的，清洗存在覆蓋不到的區(qū)域，而且清洗的均勻性和清潔度不夠理想。因此，需要對現(xiàn)有工藝和設(shè)備進(jìn)行改進(jìn)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是為了解決上述技術(shù)問題，提出一種硅片噴淋清洗槽，該清洗槽能實(shí)現(xiàn)全方位均勻清洗，操作簡便，較好地解決了上述問題。

本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的：硅片噴淋清洗槽，設(shè)有槽體，其特征在于：槽體內(nèi)可放置硅片清洗花籃，在槽體的一端設(shè)有平移氣缸，該氣缸上通過固定塊固定裝有水平移動的平移噴淋管，該噴淋管上設(shè)有噴嘴；在槽體一端的下部設(shè)有升降氣缸，該氣缸通過安裝板固定裝有在槽體內(nèi)兩側(cè)升降移動的兩個升降噴淋管，該噴淋管上設(shè)有噴嘴。

工作過程：工件放入槽內(nèi)后，頂部噴淋管在平移氣缸驅(qū)動下做往復(fù)平移支運(yùn)動，側(cè)面噴淋管在升降氣缸的驅(qū)動下做升降運(yùn)動，使得水可以均勻噴淋覆蓋整個工件區(qū)域。

本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)完善，操作簡便，全方位均勻清洗，特別是不易損傷硅片的優(yōu)點(diǎn)。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1中A-A剖視圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明：實(shí)施例：參見附圖，硅片噴淋清洗槽，設(shè)有槽體，槽體內(nèi)可放置硅片清洗花籃9，在槽體1的一端設(shè)有平移氣缸6，該氣缸上通過固定塊7固定裝有水平移動的平移噴淋管2，該噴淋管上設(shè)有噴嘴3；在槽體一端的下部設(shè)有升降氣缸5，該氣缸通過安裝板8固定裝有在槽體內(nèi)兩側(cè)升降移動的兩個升降噴淋管4，該噴淋管上設(shè)有噴嘴3.1。

本實(shí)施例經(jīng)試用效果非常好。