[實用新型]硅片自轉系統

有效

• 申請號: 200920109661.2
• 申請日: 2009-06-30
• 公開（公告）號: CN201523002U
• 公開（公告）日: 2010-07-07
• 發明（設計）人: 武建強;杜飛龍
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于一種機械驅動轉動裝置，具體是用于硅片在加工藝過程，如清洗、腐蝕工藝中，驅動放置在標準片籃里的硅片自行轉動的裝置。

背景技術

目前，在硅片加工的清洗、腐蝕等工藝過程中，硅片均為靜態地進行。這種操作方法具有一些不足：工藝過程中對硅片的加工作用不均勻，質量和效率不夠理想；特別是還需要配套使用的夾具，對硅片進行反復地取放，很容易損傷硅片。因此，需要對現有工藝和設備進行改進。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決上述技術問題，提出一種硅片自轉系統，該系統較好地解決了上述問題。

本實用新型的目的是通過以下技術方案來實現的：硅片自轉系統，設有箱體、電機，其特征在于：電機的轉動軸與主動輪和從動輪傳動連接，從動輪通過傳動齒輪組與兩個水平設置的從動軸傳動連接。

所述電機設有電機罩，傳動齒輪組設置在齒輪箱內，從動軸設置在底板上。

本實用新型的硅片自轉系統，使硅片的清洗、腐蝕等工藝過程中由靜態變為動態，工藝作用全方位均勻進行，質量是效率大提高。特別是可以使用標準片籃，減少倒片工作量和碎片率，電機速度可調，同機臂聯動，可實現拋動與自轉同時進行。具有結構簡單實用，質量好，效率高，不損硅片的優點。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是圖1的A-A剖視圖；

圖3是圖2的B-B剖視圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明：實施例：參見附圖，硅片自轉系統，設有箱體5、電機2，電機的轉動軸4與主動輪6和從動輪8傳動連接，從動輪通過傳動齒輪組9與兩個水平設置的從動軸12傳動連接。所述電機設有電機罩1，傳動齒輪組設置在齒輪箱10內，從動軸設置在底板11上。

本實施例經試用效果非常好。