[實用新型]擴散爐密封爐門機構

有效

• 申請號: 200920109657.6
• 申請日: 2009-06-30
• 公開（公告）號: CN201440038U
• 公開（公告）日: 2010-04-21
• 發明（設計）人: 賀小平;桂曉波;崔偉;王廣明
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: F27D1/18
• 分類號: F27D1/18;C30B31/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于一種密封爐門機構，具體是用于硅片加工的擴散爐上，能靈活開閉，特別是能與移載硅片的推拉舟分開操作，可以實現全程很好的密封的爐門機構。

背景技術

用于硅片加工的擴散爐的爐門需要較好的密封，現在使用的擴散爐爐門大都是與移載硅片的推拉舟一體設置，在不進行工藝過程時，爐門只得敞開。這樣，擴散爐大量散熱，不僅浪費了能源，也增加了再加工時爐體加熱的時間，降低了效率。因此，需要對現用爐門進行改進。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決上述技術問題，提出一種擴散爐密封爐門機構。該爐門機構結構是與推拉舟分體設置，設計合理，較好地解決了上述技術問題。

本實用新型的目的是通過以下技術方案來實現的：擴散爐密封爐門機構，設有石英爐門體，其特征在于：所述石英爐門體外側固定設有一個連接桿，該連接桿上固定套有金屬卡套，該金屬卡套的里端套有壓緊彈簧，該彈簧的外端的金屬卡套上設有支撐托管，該托管通過支板與一個花鍵軸承的一端固定連接，花鍵軸承設有軸套，該軸套與一個旋轉氣缸進行旋轉動力連接，花鍵軸的另一端與一個平移氣缸進行平移動力連接。

本實用新型進一步完善和實施的補充方案是：

所述平移氣缸設有散熱風扇。

所述所述花鍵軸承及軸套的支座、旋轉氣缸、平移氣缸固定在底座上。

本實用新型的爐門機構具有結構完善、操作靈活、密封性能好、節約能源、效率高的優點。

附圖說明

圖1是本實用新型的整體結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型做進一步的說明：實施例：參見附圖，擴散爐密封爐門機構，擴散爐密封爐門機構，設有石英爐門體9，所述石英爐門體外側固定設有一個連接桿9.1，該連接桿上固定套有金屬卡套9.2，該金屬卡套的里端套有壓緊彈簧8，該彈簧的外端，金屬卡套上設有支撐托管9.3，該托管通過支板7與一個花鍵軸承1的一端固定連接，花鍵軸承設有軸套1.1，該軸套與一個旋轉氣缸2進行旋轉動力連接，花鍵軸的另一端與一個平移氣缸5進行平移動力連接。所述平移氣缸設有散熱風扇4。所述所述花鍵軸承及軸套的支座6、旋轉氣缸、平移氣缸固定在底座3上。

本實用新型經試用效果非常好。