[實用新型]一種矩形刻蝕離子槍

無效

• 申請號: 200920108598.0
• 申請日: 2009-06-05
• 公開（公告）號: CN201417740Y
• 公開（公告）日: 2010-03-03
• 發明（設計）人: 馬利民
• 申請（專利權）人: 馬利民
• 主分類號: H01J37/08
• 分類號: H01J37/08;C30B33/08
• 代理公司: 北京法思騰知識產權代理有限公司
• 代理人: 楊小蓉

1、一種矩形刻蝕離子槍，其包括：極靴、位于極靴端面之間的磁鐵、上陽極、下陽極、陰極燈、屏柵和加速柵；其特征在于：

所述極靴由從下至上同軸放置的一第一極靴(2)、第二極靴(4)、第三極靴(7)和第四極靴(8)組成；

所述第一極靴(2)為上表面中心帶有一矩形管的環狀矩形板；所述第二極靴(4)、第三極靴(7)和第四極靴(8)均為環狀矩形板；

所述磁鐵由第一磁鐵(3)和第二磁鐵(5)組成；

第一磁鐵(3)位于所述第一極靴(2)和所述第二極靴(4)端面之間；

第二磁鐵(5)位于所述第二極靴(4)和所述第三極靴(7)端面之間；

所述第四極靴(8)位于所述第三極靴(7)上端面之上；

所述第一極靴(2)、第一磁鐵(3)、第二極靴(4)、第二磁鐵(5)、第三極靴(7)和第四極靴(8)構成外表面為矩形的一整體；

所述上陽極為位于所述第二磁鐵(5)之內的矩形環狀上陽極(6)；

所述下陽極為位于所述第一磁鐵(3)與所述第一極靴(2)的矩形管之間的矩形環狀下陽極(1)；所述矩形環狀下陽極(1)的上端面為外高內低的矩形錐面；

所述屏柵為搭置于所述第四極靴(8)上端面上的一弧形板狀屏柵(9)；

所述加速柵為懸空置于所述弧形板狀屏柵(9)上方0.5-2毫米的一弧形板狀加速柵(10)；

一設于所述第一極靴(2)下表面中心處的底座(19)，所述底座(19)覆蓋所述第一極靴(2)的矩形管的內孔；

所述陰極燈固定于所述底座(19)上且位于所述第一極靴(2)的矩形管內；所述陰極燈燈絲位于所述矩形環狀上陽極(6)的矩形環內；所述陰極燈燈絲為碳化鉬鑭絲、釷鎢絲或碳化鉬鑭絲；和

穿過所述底座(19)且位于所述第一極靴(2)的矩形管與所述陰極燈之間的與氬氣源相連通的充氣管(18)；

所述第一磁鐵(3)的磁通量為0.5-1韋伯；

所述第二磁鐵(5)的磁通量為0.1-0.5韋伯。

2、按權利要求1所述的矩形刻蝕離子槍，其特征在于，所述矩形環狀上陽極(6)的高度為25mm到100mm；所述矩形環狀上陽極(6)的四個角為半徑不小于3mm的圓角。

3、按權利要求1所述的矩形刻蝕離子槍，其特征在于，所述第二極靴(4)與所述第三極靴(7)之間的垂向距離為28-103mm；所述第一極靴(2)與所述第二極靴(4)之間的垂向距離為10-50mm；所述矩形環狀下陽極(1)的上端面低于所述第二極靴(4)下表面2-3毫米。

4、按權利要求1所述的矩形刻蝕離子槍，其特征在于，所述第二極靴(4)的內環尺寸比所述矩形環狀上陽極(6)內環尺寸小1-15mm。

5.按權利要求1所述的矩形刻蝕離子槍，其特征在于，所述第四極靴(8)的內環尺寸比所述矩形環狀上陽極(6)外環尺寸小1-15mm。

6、按權利要求1所述的矩形刻蝕離子槍，其特征在于，所述第二極靴(4)的四個圓角的半徑和所述第四極靴(8)的四個圓角的半徑均比所述矩形環狀上陽極(6)的四個圓角的半徑大1-10mm。

7、按權利要求1所述的矩形刻蝕離子槍，其特征在于，所述矩形環狀下陽極(1)的外形尺寸和矩形環狀上陽極(6)的外形尺寸均小于所述第三矩形環狀極靴(7)內形尺寸。

8.按權利要求1所述的矩形刻蝕離子槍，其特征在于，所述屏柵(9)和所述加速柵(10)的曲率半徑均為50-200mm。

9、按權利要求1所述的矩形刻蝕離子槍，其特征在于，所述第一磁鐵(3)由4到20枚垂向放置的磁棒組成；所述第二磁鐵(5)由2到10枚垂向放置的磁棒組成。