[實用新型]用于犧牲層釋放的二氧化碳固態升華裝置

有效

• 申請號: 200920107674.6
• 申請日: 2009-05-06
• 公開（公告）號: CN201427858Y
• 公開（公告）日: 2010-03-24
• 發明（設計）人: 景玉鵬;惠瑜;高超群
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 周國城

1、一種用于犧牲層釋放的二氧化碳固態升華裝置，其特征在于，該裝置至少包括過濾器(1)、暫存罐(2)、恒流恒壓泵(3)、流量計(4)、主工作腔室(5)、溫度壓力控制裝置(7)和分離器(10)，其中，過濾器(1)、暫存罐(2)、恒流恒壓泵(3)、流量計(4)、主工作腔室(5)和分離器(10)依次連接，溫度壓力控制裝置(7)連接于主工作腔室(5)，分離器(10)連接于過濾器(1)，分離器(10)與過濾器(1)構成循環回路。

2、根據權利要求1所述的用于犧牲層釋放的二氧化碳固態升華裝置，其特征在于，所述過濾器(1)通過第一閥門a連接于二氧化碳鋼瓶。

3、根據權利要求1所述的用于犧牲層釋放的二氧化碳固態升華裝置，其特征在于，所述暫存罐(2)通過第二閥門b連接于恒流恒壓泵(3)。

4、根據權利要求1所述的用于犧牲層釋放的二氧化碳固態升華裝置，其特征在于，所述主工作腔室(5)通過第三閥門c連接于分離器(10)。

5、根據權利要求1所述的用于犧牲層釋放的二氧化碳固態升華裝置，其特征在于，所述分離器(10)進一步連接于排出乙醇的第四閥門d。

6、根據權利要求1所述的用于犧牲層釋放的二氧化碳固態升華裝置，其特征在于，所述主工作腔室(5)進一步安裝有放置芯片的硅片架(6)。

7、根據權利要求1所述的用于犧牲層釋放的二氧化碳固態升華裝置，其特征在于，所述溫度壓力控制裝置(7)中進一步安裝有監視主工作腔室(5)內溫度和壓力變化的溫度傳感器(8)和壓力傳感器(9)。