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[實用新型]低維納米材料顯微結構與電學性能測試裝置無效

專利信息
申請號: 200920107022.2 申請日: 2009-05-15
公開(公告)號: CN201637699U 公開(公告)日: 2010-11-17
發明(設計)人: 韓曉東;劉攀;張澤 申請(專利權)人: 北京工業大學
主分類號: G01N23/04 分類號: G01N23/04;G01N27/00;G01R31/00
代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203 代理人: 劉萍
地址: 100124 *** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 納米 材料 顯微結構 電學 性能 測試 裝置
【權利要求書】:

1.一種低維納米材料顯微結構與電學性能測試裝置,其特征在于:

在襯底的上方是非晶層,下方是阻擋層,阻擋層和襯底的中間部分被刻蝕掉形成窗口,在非晶層上是金屬電極,金屬電極之間是低維納米材料,低維納米材料位于非晶層上對著窗口的正上方,低維納米材料上是非晶阻擋層,金屬電極上引出導線。

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