[實用新型]一種用于切斷單晶硅棒料的組合夾具

有效

• 申請號: 200920103291.1
• 申請日: 2009-06-16
• 公開（公告）號: CN201456258U
• 公開（公告）日: 2010-05-12
• 發明（設計）人: 趙士鋒;張學強;李旭超
• 申請（專利權）人: 寧晉賽美港龍電子材料有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04;B28D5/04
• 代理公司: 石家莊冀科專利商標事務所有限公司 13108
• 代理人: 李羨民;周曉萍

技術領域

本實用新型涉及一種夾具，特別是用于單晶硅棒料切斷的組合夾具，屬半導體材料加工技術領域。

背景技術

在半導體材料單晶硅的生產過程中，需要將單晶硅棒料按所需尺寸切斷，通用方法是在帶鋸切割機上對單晶硅棒料進行切割。目前在切割時，單晶硅棒料的夾卡方式采用正反絲杠夾具，這種夾具操作繁瑣、耗時費力，而且因單晶硅材質較脆，且被切割的單晶硅棒料直徑不均勻，對被切斷一側的單晶硅棒料缺乏合適的定位方式，經常會出現切斷后的單晶硅端面出現掰斷裂痕，或者切斷面相對單晶硅棒料軸線垂直度誤差過大的問題，上述問題均會造成單晶硅質量不合格，降低產品的使用率。

發明內容

本實用新型用于解決上述已有技術之缺陷而提供一種夾卡方便、固定準確可靠的用于切斷單晶硅棒料的組合夾具。

本實用新型所稱問題是通過以下技術方案解決的：

一種用于切斷單晶硅棒料的組合夾具，設置在帶鋸切割機工作臺上，其特別之處是：它由分別位于帶鋸兩側的夾卡裝置和扶正裝置組成，所述夾卡裝置由導軌、滑塊和三組并列的夾緊機構組成，其中導軌與工作臺托板固定，滑塊與導軌滑動連接，夾緊機構位于滑塊上，所述扶正裝置由兩組并列的扶正機構組成。

上述用于切斷單晶硅棒料的組合夾具，所述扶正機構包括豎直扶正汽缸、水平扶正汽缸和水平支架，豎直扶正汽缸位于汽缸架上，兩水平扶正汽缸對稱設置在帶鋸切割機的工作臺上，水平扶正汽缸活塞桿固接水平支架，水平支架內設有支承輥。

上述用于切斷單晶硅棒料的組合夾具，所述夾緊機構包括槽板、尼龍支承棒、汽缸架和夾緊汽缸，槽板固定在滑塊上，夾緊汽缸豎直設置在汽缸架上，汽缸架與槽板固定，兩尼龍支承棒位于槽板的凹槽內、相對夾緊汽缸對稱配制。

本實用新型針單晶硅棒料切斷過程不易夾卡定位而影響切割質量問題設計了一種組合夾具，該組合夾具在帶鋸兩側對單晶硅棒料分別夾緊、扶正，解決了原夾具因固定方式不妥而造成的切割端面掰斷裂痕及垂直度誤差問題。本實用新型摒棄傳統絲杠夾緊方式，以夾緊汽缸為主要夾緊件，實現三點定位夾緊，其夾緊和松開操作簡便快捷，并具有夾緊力均衡可靠的特點。采用本實用新型在有效降低單晶硅棒料切割不合格率、提高單晶硅使用率的同時，還可提高生產效率，降低人工操作強度。

附圖說明

圖1是本實用新型結構示意圖；

圖2是圖1的A向視圖；

圖3是圖1的B向視圖；

圖4是圖1的C向視圖。

附圖中標號如下：1.帶鋸切割機，2.單晶硅棒料，3.豎直扶正汽缸，4.夾緊汽缸，5.汽缸架，6.槽板；7.滑塊，8.導軌，9.水平扶正汽缸，10.水平支架，11.支承輥，12.工作臺托板，13.尼龍支承棒，14.帶鋸。

具體實施方式

參看圖1、圖2，本實用新型設置在帶鋸切割機工作臺上，它由夾卡裝置和扶正裝置組成，夾卡裝置和扶正裝置分別位于帶鋸兩側，定位夾緊被加工的單晶硅棒料2。位于帶鋸右側的夾卡裝置由三組并列的夾緊機構定位夾緊單晶硅棒料右側；位于帶鋸左側的扶正裝置由兩組并列的扶正機構定位夾緊單晶硅棒料左側。

參看圖3，所述扶正機構包括豎直扶正汽缸3、水平扶正汽缸9和水平支架10，豎直扶正汽缸位于汽缸架上，兩水平扶正汽缸對稱設置在帶鋸切割機的工作臺面上，水平扶正汽缸活塞桿固接水平支架，水平支架內設有支承輥11。該機構由三個汽缸對單晶硅棒料在三個方向均壓夾持，即使單晶硅棒料外圓有誤差，也不會對夾持定位產生影響。在兩組扶正機構的夾持下，避免了單晶硅棒料切斷后端面出現掰斷裂痕，并減少了切斷面相對單晶硅棒料軸線垂直度誤差。

參看圖1、圖2、圖4，所述夾卡裝置由導軌8、滑塊7和三組夾緊機構組成，其中導軌與工作臺托板12固定，滑塊與導軌滑動連接，夾緊機構位于滑塊上。夾緊機構包括槽板6、尼龍支承棒13、汽缸架5和夾緊汽缸4，槽板固定在滑塊上，夾緊汽缸豎直設置在汽缸架上，汽缸架與槽板固定，兩尼龍支承棒位于槽板的凹槽內、相對夾緊汽缸對稱配制，夾緊汽缸和尼龍支承棒對汽缸形成三點環繞固定夾緊。夾緊裝置可通過調整滑塊相對導軌的位置改變夾緊機構的工作位置，以滿足夾緊不同長度單晶硅棒料的要求。如圖所示，本實施例滑塊設置了兩塊，其中靠近帶鋸14的滑塊上設置兩組夾緊機構，遠離帶鋸的滑塊上設置一組夾緊機構。

本實用新型使用時配合帶鋸切割機對單晶硅棒料實施切斷加工，根據加工要求，調整扶正機構和夾緊機構的工作位置，將單晶硅棒料定位夾緊，隨單晶硅棒料分段切斷，夾緊裝置可隨工作臺托板水平移動，實現對帶鋸切割機輸料。