[實用新型]單晶爐零壓報警裝置無效
| 申請號: | 200920101828.0 | 申請日: | 2009-03-10 |
| 公開(公告)號: | CN201362756Y | 公開(公告)日: | 2009-12-16 |
| 發明(設計)人: | 張在存;魯立寧;董朝海 | 申請(專利權)人: | 寧晉松宮電子材料有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/20 | 分類號: | C30B15/20;C30B35/00 |
| 代理公司: | 石家莊科誠專利事務所 | 代理人: | 王文慶 |
| 地址: | 055550河*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 單晶爐零壓 報警裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種報警裝置,尤其是一種單晶爐零壓報警裝置。
背景技術
目前在單晶硅設備領域里,CZ80及以前的晶體生長設備,因為在單晶生產需要有一個持續的加熱的過程,在生產時為了保證硅是液態,爐內就要穩定在1400℃左右的高溫。如果停止加熱在十分鐘硅就會凝固,而固態的硅比液態的硅體積大百分之十,很快將石英坩堝脹壞,使其不能再繼續生產,造成損失。所以能夠在在最短的時間內發現加熱停了就顯得尤為重要。
實用新型內容
為解決現有技術中存在的不足,本實用新型提供了一種能夠及時感知加熱電壓并在該電壓為零時即可報警的單晶爐零壓報警裝置。
為實現上述目的,本實用新型的單晶爐零壓報警裝置,包括延時繼電器及與延時繼電器信號輸出端相連的報警器,其特征在于:該裝置還包括電壓信號采樣模塊、降壓電阻、穩壓管及控制控制繼電器,所述的電壓信號采樣模塊與單晶爐加熱電壓表并聯,其信號輸出端經降壓電阻、與降壓電阻信號輸出端的穩壓管與控制繼電器的信號輸入端相連,控制繼電器的信號輸出端與延時繼電器的信號輸入端相連。
此外,在延時繼電器與供電電源之間連接有復位開關。
采用上述技術方案,能夠將原來生產過程中,由于相偏引起無加熱故障不報警的現象克服。在第一時間讓操作者得知加熱停止,并使操作者可以在第一時間處理和修復好設備,保證生產降低損失,避免晚發現而造成的單晶拉方、結晶提斷,悶爐。
附圖說明
下面結合附圖及具體實施方式對本實用新型作更進一步詳細說明:
圖1是本實用新型的整體結構示意圖;
具體實施方式
由圖1所示可知,本實用新型的單晶爐零壓報警裝置,包括延時繼電器1及與延時繼電器1信號輸出端相連的報警器2,電壓信號采樣模塊3、降壓電阻4、穩壓管5及控制繼電器6,所述的電壓信號采樣模塊3與單晶爐加熱電壓表并聯,其信號輸出端經降壓電阻4、與降壓電阻4信號輸出端的穩壓管5與控制繼電器6的信號輸入端相連,控制繼電器6的信號輸出端與延時繼電器1的信號輸入端相連。在延時繼電器1與供電電源7之間連接有復位開關8。
使用時,裝置的電信號是與加熱電壓表并聯得到電信號,經過降壓電阻4分壓后,在經過穩壓管5穩壓得到相對穩定電壓送到控制繼電器6,繼電器6線圈通電后吸合,使繼電器6常閉端斷開,延時繼電器1常開端繼續保持斷開,報警器2也就不會得到電流不報警。相反如果加熱停止就沒有了電流送到控制繼電器6,繼電器6停止吸合,控制繼電器6常閉端接通使延時繼電器1通電,在經過相應延時后吸合,延時繼電器1的常開端閉合,使報警器2通電報警。可以先按下復位開關8,暫時停止報警,待加熱恢復正常后報警真正停止。
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