[實用新型]一種用于生長300mm以上大尺寸藍寶石的單晶爐爐體

有效

• 申請號: 200920100239.0
• 申請日: 2009-06-26
• 公開（公告）號: CN201411509Y
• 公開（公告）日: 2010-02-24
• 發明（設計）人: 左洪波;楊鑫宏;宋波;王玉平;王天成
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工大奧瑞德光電技術有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/20
• 代理公司: 哈爾濱市哈科專利事務所有限責任公司
• 代理人: 劉 婭

1、一種用于生長300mm以上大尺寸藍寶石的單晶爐爐體，它包括爐殼、爐底、爐蓋、坩堝、支撐棒、發熱體和保溫結構，坩堝通過支撐棒設置在爐底上，發熱體設置在坩堝外圍，其特征在于保溫結構包括坩堝蓋、上隔熱屏、下隔熱屏、多層保溫筒、保溫填料、耐火磚和金屬筒，坩堝蓋設置在坩堝上，上隔熱屏設置在坩堝蓋上，耐火磚設置在爐底，下隔熱屏設置在發熱體下方，多層保溫筒設置在金屬筒內，多層保溫筒與金屬筒之間設置有保溫填料。

2、根據權利要求1所述的一種用于生長300mm以上大尺寸藍寶石的單晶爐爐體，其特征在于所述的爐殼、爐底和爐蓋由2-10mm厚的不銹鋼板制成，都采用中空結構，內部通冷卻水。

3、根據權利要求2所述的一種用于生長300mm以上大尺寸藍寶石的單晶爐爐體，其特征在于所述的坩堝由金屬鎢制成，外徑330-450mm，圓周壁厚5-15mm，底部厚度20-45mm。

4、根據權利要求3所述的一種用于生長300mm以上大尺寸藍寶石的單晶爐爐體，其特征在于所述的支撐棒由直徑為50-300mm鉬棒制成。

5、根據權利要求4所述的一種用于生長300mm以上大尺寸藍寶石的單晶爐爐體，其特征在于所述的發熱體為鳥籠式結構，由直徑為4-8mm鎢棒制成，發熱體頂端為2個銅半環。

6、根據權利要求5所述的一種用于生長300mm以上大尺寸藍寶石的單晶爐爐體，其特征在于所述的坩鍋蓋由3-8片厚度為1-3mm厚的鉬片制成。

7、根據權利要求6所述的一種用于生長300mm以上大尺寸藍寶石的單晶爐爐體，其特征在于所述的上隔熱屏由5-15片厚度為0.5-3mm厚的鉬片制成，下隔熱屏由10-20片厚度為0.5-3mm厚的鉬片制成。

8、根據權利要求7所述的一種用于生長300mm以上大尺寸藍寶石的單晶爐爐體，其特征在于所述的多層保溫筒由3-8層厚度為0.5-2mm鉬片制成。

9、根據權利要求8所述的一種用于生長300mm以上大尺寸藍寶石的單晶爐爐體，其特征在于所述的保溫填料一般使用氧化鋁陶瓷，耐火磚使用氧化鋁磚，金屬筒一般由厚度為1-5mm的不銹鋼板制成。