[實用新型]太陽電池玻璃襯底固定裝置無效
| 申請號: | 200920097562.7 | 申請日: | 2009-07-01 |
| 公開(公告)號: | CN201430158Y | 公開(公告)日: | 2010-03-24 |
| 發明(設計)人: | 王宗畔 | 申請(專利權)人: | 天津市津能電池科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/20 | 分類號: | H01L31/20;H01J37/20;H01J37/32;C23C16/50 |
| 代理公司: | 天津盛理知識產權代理有限公司 | 代理人: | 王來佳 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 太陽電池 玻璃 襯底 固定 裝置 | ||
技術領域
本實用新型屬于太陽電池技術領域,尤其是一種太陽電池玻璃襯底固定裝置。
背景技術
在大規模生產非晶硅太陽電池的生產線中,沉積硅基薄膜所需要的等離子加強化學氣相沉積(簡稱PECVD)是太陽電池生產過程最重要的工序。該工序包括將帶有透明導電膜的玻璃板(即玻璃襯底)插入到裝載盒中,要求必須保持玻璃襯底處于豎直平面,并且玻璃襯底之間相互平行。
為滿足上述要求,目前公知的裝置是在玻璃襯底的下方采用四氟材料做的托輪用于支撐和攔擋,玻璃襯底的上方采用四氟材料做的軌道用于導向和定位,通過傘形的托輪和軌道對玻璃襯底固定,保證了玻璃襯底處于豎直平面,且多個玻璃襯底之間相互平行。由于這種固定玻璃襯底的結構使玻璃襯底與輝光放電金屬板電極緊密接觸(見附圖2),當玻璃襯底沿著軌道送入裝載盒時,玻璃襯底與輝光放電金屬板電極可能產生摩擦,從而造成玻璃襯底被輝光放電金屬板電極表面的微小硬顆粒劃傷的現象,降低了產品合格率,加大了太陽電池的制造成本。
發明內容
本實用新型的目的在于克服現有技術的不足,提供一種太陽電池玻璃襯底固定裝置,該裝置能夠有效避免玻璃襯底的劃傷,大大提高產品合格率,降低太陽電池制造成本。
本實用新型解決其技術問題是采取以下技術方案實現的:
一種太陽電池玻璃襯底固定裝置,包括玻璃襯底、輝光放電金屬電極、托輪以及軌道,輝光放電金屬電極兩側均平行對稱安裝一玻璃襯底,輝光放電金屬電極的上端與兩側的玻璃襯底均嵌裝在軌道的凹槽內,輝光放電金屬電極的下端兩側通過一橫向的螺栓各對稱固定安裝一托輪,玻璃襯底的下端安裝在托輪上,其特征在于:在軌道上單獨制有嵌裝輝光放電金屬電極的電極定位凹槽,且在該電極定位凹槽兩側間隔對稱制有嵌裝玻璃襯底的玻璃襯底定位凹槽;在對應軌道上嵌裝玻璃襯底凹槽的托輪上與輝光放電金屬電極間隔對稱均制有一玻璃襯底支撐凹槽。
而且,所述在軌道上所制的玻璃襯底定位凹槽與托輪上所制的玻璃襯底支撐凹槽寬度相等。
而且,所述軌道和托輪均為真空陶瓷材料制作。
而且,所述軌道上玻璃襯底與輝光放電金屬電極之間的間隔寬度為0.5mm-3.0mm,所述托輪上玻璃襯底與輝光放電金屬電極的間隔寬度為0.5mm-3.0mm。
本實用新型的優點和積極效果是:
1、本實用新型在軌道上和托輪上均設置了隔離玻璃襯底與輝光放電金屬電極用的凸臺,使玻璃襯底與輝光放電金屬電極之間由密切安裝改為間隙安裝,既不影響輝光放電,又有效防止了玻璃襯底表面的劃傷,提高了產品合格率,降低了太陽電池的制造成本。
2、本實用新型將四氟材料的軌道和托輪改為真空陶瓷材料,成型后,與玻璃襯底接觸的表面進行拋光,不但解決了裝置硬度較小、耐溫能力差、支撐能力差、容易損壞的缺點,還進一步保證了玻璃襯底表面不被劃傷。
附圖說明
圖1為本實用新型太陽電池玻璃襯底固定裝置示意圖;
圖2為現有技術中太陽電池玻璃襯底固定裝置示意圖;
圖3為圖1的軌道放大圖;
圖4為圖1的托輪剖面圖;
圖5為圖3的仰視示意圖;
圖6為圖4的左視示意圖。
具體實施方式
下面結合附圖并通過具體實施例對本實用新型作進一步詳述,以下實施例只是描述性的,不是限定性的,不能以此限定本實用新型的保護范圍。
一種太陽電池玻璃襯底固定裝置,由玻璃襯底3、輝光放電金屬電極2、托輪5及軌道1構成,輝光放電金屬電極兩側均平行對稱安裝玻璃襯底,輝光放電金屬電極的上端與兩側的玻璃襯底均嵌裝在玻璃襯底支撐凹槽內,輝光放電金屬電極的下端兩側通過一橫向的螺栓4各對稱固定安裝托輪,玻璃襯底的下端安裝在托輪上。本實用新型的創新點是:
1、在軌道上單獨制有嵌裝輝光放電金屬電極的電極定位凹槽7,且在該電極定位凹槽兩側均間隔對稱制有一嵌裝玻璃襯底的玻璃襯底定位凹槽6;
2、對應軌道上嵌裝玻璃襯底定位凹槽的托輪上與輝光放電金屬電極間隔對稱制有玻璃襯底支撐凹槽8;
3、在軌道上所制的玻璃襯底定位凹槽與托輪上所制的玻璃襯底支撐凹槽寬度相等。
下面描述本實用新型軌道及托輪的加工過程:
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





