[實用新型]一種等離子體化學氣相沉積設備中的進氣控制裝置有效

申請號：	200920095019.3	申請日：	2009-12-17
公開（公告）號：	CN201567372U	公開（公告）日：	2010-09-01
發明（設計）人：	張繼澤;劉萬學;王巍;程明輝;朱艷偉;曲爽;楊帥	申請（專利權）人：	吉林慶達新能源電力股份有限公司
主分類號：	C23C16/455	分類號：	C23C16/455
代理公司：	吉林省長春市新時代專利商標代理有限公司 22204	代理人：	石岱
地址：	136001 ***	國省代碼：	吉林;22
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種等離子體化學沉積設備中的控制裝置
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【權利要求書】：

1.一種等離子體化學氣相沉積設備中的進氣控制裝置，其特征在于：該進氣控制裝置包括通氣管路(1)、溫度探棒(2)、加熱探棒(3)、電磁閥(4)、PLC控制器(5)，所述的溫度探棒(2)、加熱探捧(3)和電磁閥(4)設置在進氣管內，溫度探棒(2)、加熱探捧(3)和電磁閥(4)與PLC控制器(5)電連接。

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