[實用新型]射頻阻抗匹配裝置

無效

• 申請號: 200920084851.3
• 申請日: 2009-04-10
• 公開（公告）號: CN201387563Y
• 公開（公告）日: 2010-01-20
• 發明（設計）人: 金星;石寶松;王超;張莉君
• 申請（專利權）人: 中國地質大學(武漢)
• 主分類號: G05F1/00
• 分類號: G05F1/00;G05B19/042;H03H11/28;H03H7/38
• 代理公司: 武漢華旭知識產權事務所
• 代理人: 劉 榮

1.一種射頻阻抗匹配裝置，包括：

功率相位檢測單元，從經過其中的射頻信號中檢測出入射功率、反射功率和相位差；

控制單元，用于對負載阻抗狀態的判斷和數值的計算，并且對阻抗網絡的狀態進行控制；

阻抗匹配網絡，連接在射頻電源和負載之間；

其特征在于：該裝置還包括電位器和步進電機，電位器與阻抗匹配網絡連接，記錄阻抗匹配網絡電容容值的變化并反饋至控制單元；功率相位檢測單元連接在阻抗匹配網絡和射頻電源之間，阻抗匹配網絡連有電位器和步進電機，控制單元與功率相位檢測單元、步進電機和電位器連接，射頻電源輸出的射頻信號經過功率相位檢測器，功率相位檢測器檢測出射頻信號的入射功率、反射功率和相位差并傳至控制單元，控制單元對負載阻抗狀態的判斷和數值的計算，根據判斷和計算結果，控制單元通過控制步進電機來改變阻抗匹配網絡中可變電容的容值，并利用電位器記錄阻抗匹配網絡電容容值的變化，輸出信號接至控制單元，實現負載阻抗的閉環控制。

2.根據權利要求1所述的射頻阻抗匹配裝置，其特征在于：控制單元為PIC16F877A單片機和外接的A/D以及信號調理電路。

3.根據權利要求1所述的射頻阻抗匹配裝置，其特征在于：功率相位檢測單元包括取樣變壓器，射頻相位增益檢測器AD8302和功率合成器ADP-2-1W。

4.根據權利要求1所述的射頻阻抗匹配裝置，其特征在于：射頻阻抗匹配裝置采用L型阻抗匹配網絡與負載線圈相連，阻抗匹配網絡中的可變電容與步進電機相連，由電位器記錄下可變電容的容值，將電壓信號反饋到控制單元。

5.根據權利要求1所述的射頻阻抗匹配裝置，其特征在于：控制單元通過RS-232接口與計算機連接。