[實用新型]自動清潔表面的激光打標系統

有效

• 申請號: 200920080939.8
• 申請日: 2009-05-18
• 公開（公告）號: CN201562668U
• 公開（公告）日: 2010-08-25
• 發明（設計）人: 王躍;趙小東;楊奎林
• 申請（專利權）人: 樂山-菲尼克斯半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;B08B5/02;B08B7/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種自動清潔表面的激光打標系統，包括連續激光器(10)、擴束準直鏡(11)、X/Y偏轉鏡(1)、聚焦鏡(2)和器件定位槽(3)，其特征在于，在聚焦鏡(2)和器件定位槽(3)之間設有清潔系統，其主體形狀是上部為圓柱管道(4)、下部為圓臺管道(5)，其上端與聚焦鏡(2)相連，下端與器件定位槽(3)槽口相通，圓柱管道(4)上部一側連接有橫向抽風管(6)。

2.根據權利要求1所述的自動清潔表面的激光打標系統，其特征在于，所述的圓柱管道(4)側壁上開有進風口(7)，位于與抽風管(6)相對的一側的上部。

3.根據權利要求2所述的自動清潔表面的激光打標系統，其特征在于，所述的進風口(7)的形狀為扁平矩形。

4.根據權利要求1所述的自動清潔表面的激光打標系統，其特征在于，所述的器件定位槽(3)的下部設有由電磁閥控制的吹氣裝置(8)。