[實(shí)用新型]可變光衰減器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920077784.2
• 申請日: 2009-07-02
• 公開（公告）號: CN201464670U
• 公開（公告）日: 2010-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳宗林
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G02B6/26
• 分類號: G02B6/26;G02B26/08
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種可變光衰減器，尤其涉及一種橫向位移型可變光衰減器。

背景技術(shù)

光衰減器是一種重要的光無源器件，在光傳輸過程中其可按用戶需求對光功率進(jìn)行衰減。可用在系統(tǒng)的評估、研究、調(diào)整和校正等方面。隨著光模塊如激光器、光刻機(jī)等在現(xiàn)代大型設(shè)備中的應(yīng)用，光衰減器的市場需求增長越來越快。

光衰減器分為固定光衰減器和可變光衰減器兩類。一般可變光衰減器是使高功率的光信號通過部分透光的濾光片，或采用衰減片來阻擋部分光信號，或改變輸入光纖與輸出光纖之間的相對位置，或通過部分光吸收裝置逐漸減弱光信號的強(qiáng)度，從而達(dá)成光信號衰減程度可調(diào)的目的。

美國專利4,591,23于1986年5月27日公開了一種可變光衰減器，通過旋轉(zhuǎn)裝有多個不同衰減量的衰減片的衰減圓盤獲得多個不同的衰減量。但是，該可變光衰減器為步進(jìn)式可變光衰減器，其可變衰減范圍較小，且會受到內(nèi)部反射和折射的影響，因此導(dǎo)致信號噪音過高，從而影響該衰減器的性能。

美國專利4,989,938于1991年2月5日公開了另一種可變光衰減器，通過移動光吸收密度沿長度方向呈梯度變化的濾光片來實(shí)現(xiàn)光的可變衰減。但是，該可變光衰減器中的濾光片的設(shè)計和制造難度較高，濾光片價格昂貴，因此該可變光衰減器成本較高。

中國專利CN01258531.9于2002年11月27日公開了又一種可變光衰減器，請參閱圖1，該可變光衰減器包括第一組棱鏡、第二組棱鏡和一遮擋板，其中該第一組棱鏡包括第一棱鏡111和第二棱鏡112；第二組棱鏡包括第三棱鏡113和第四棱鏡114。其中，第一棱鏡111和第二棱鏡112具有兩個不平行的相對面1102、1103，第三棱鏡113和第四棱鏡114也具有兩個不平行的相對面，并且該四個棱鏡順序排列在通過該光衰減器的光束光路中，遮擋板116放置在第二棱鏡112與第三棱鏡113之間，其可阻擋入射在其表面的光通過。通過調(diào)節(jié)該遮擋板116的位置可實(shí)現(xiàn)光功率的可變衰減。由于棱鏡的擴(kuò)束作用，從準(zhǔn)直器13輸出的平行光束131經(jīng)過第一、第二棱鏡111、112之后，會形成擴(kuò)大的光束133，故利用遮擋板116遮擋該擴(kuò)大后的光束133較遮擋直接由準(zhǔn)直器13輸出的平行光束131的精度有了一定的提高。但是，該可變光衰減器使用了四塊棱鏡，其結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，裝調(diào)有一定難度，成本也較高。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種可變衰減范圍大、結(jié)構(gòu)簡單、精度高、成本低的可變光衰減器。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：

一種可變光衰減器，包括一耦合輸入裝置、一耦合輸出裝置和一置于所述耦合輸入裝置與耦合輸出裝置之間的衰減裝置，所述衰減裝置包括具有第一反射面的第一光學(xué)元件和具有第二反射面的第二光學(xué)元件，所述第二光學(xué)元件能夠在與耦合輸入裝置輸出的光束平行的方向上平移；從耦合輸入裝置輸出的光束依次經(jīng)第一反射面和第二反射面反射后，經(jīng)由所述耦合輸出裝置輸出.

所述第一光學(xué)元件和第二光學(xué)元件分別是第一棱鏡和第二棱鏡。

所述第一棱鏡還包括分別與所述第一反射面鄰接的第一入射面和第一出射面；所述第二棱鏡還包括分別與所述第二反射面鄰接的第二入射面和第二出射面；從耦合輸入裝置輸出的光束從第一入射面入射到第一棱鏡內(nèi)部，經(jīng)第一反射面反射后，從第一出射面射出，并經(jīng)由第二入射面入射至第二棱鏡內(nèi)部，再經(jīng)第二反射面反射后，從第二出射面射出，并進(jìn)入所述耦合輸出裝置。

所述第一入射面與第一反射面之間的夾角、第一出射面與第一反射面之間的夾角、第二入射面與第二反射面之間的夾角、第二出射面與第二反射面之間的夾角均相等。

所述夾角均大于45度而小于90度。

所述第一入射面和第二出射面均與所述耦合輸入裝置輸出的光束相垂直；第一出射面與第二入射面相平行。

所述第一棱鏡固定在一底板上，所述底板上開有與耦合輸出裝置輸入光束方向平行的凹槽，所述第二棱鏡設(shè)置在凹槽中，并能夠沿凹槽移動。

所述第二棱鏡的底部設(shè)有與所述凹槽匹配的滑塊，通過所述滑塊沿凹槽移動。

所述滑塊高度比凹槽深度大。

所述第二棱鏡的入射面上鍍有增透膜。所述第一棱鏡的入射面上鍍有增透膜。通過增設(shè)的增透膜來避免光束反射返回光路中，從而提高回波損耗。

所述第一光學(xué)元件和第二光學(xué)元件均是鍍膜的反射鏡。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下優(yōu)點(diǎn)和積極效果：