[實(shí)用新型]用于過濾開槽雙面研磨機(jī)漿料的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920076276.2
• 申請日: 2009-06-15
• 公開（公告）號: CN201419358Y
• 公開（公告）日: 2010-03-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 欒興偉;洪羿達(dá);李強(qiáng);黃春峰;謝江華
• 申請（專利權(quán)）人: 上海合晶硅材料有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02;B24B37/04;H01L21/304;B01D35/02
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所
• 代理人: 余明偉

1.一種用于過濾開槽雙面研磨機(jī)漿料的裝置，其特征在于，包括：上接頭(1)、下接頭(4)、置于上接頭(1)與下接頭(4)中間的過濾網(wǎng)(3)、以及套接下接頭(4)與上接頭(1)連接的連接件(5)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于過濾開槽雙面研磨機(jī)漿料的裝置，其特征在于：所述連接件(5)包括底面和由底面邊緣向上延伸的側(cè)壁，底面中部設(shè)有通孔(50)，側(cè)壁內(nèi)設(shè)有內(nèi)螺紋(51)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于過濾開槽雙面研磨機(jī)漿料的裝置，其特征在于：所述下接頭(4)的頂端設(shè)有凸臺(40)，所述下接頭(4)的底端可從連接件(5)上方穿過連接件(5)，從連接件(5)底面的通孔(50)伸出，其凸臺(40)卡持于連接件(5)的底面上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于過濾開槽雙面研磨機(jī)漿料的裝置，其特征在于：所述下接頭(4)還包括自頂端向底端依次變細(xì)的中間部分(41)和接頭部分(42)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于過濾開槽雙面研磨機(jī)漿料的裝置，其特征在于：所述上接頭(1)的底端設(shè)有底座(11)，所述底座(11)設(shè)有與所述連接件(5)的內(nèi)螺紋(51)相配合的外螺紋(10)，通過螺紋配合安裝于連接件(5)內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于過濾開槽雙面研磨機(jī)漿料的裝置，其特征在于：所述上接頭(1)還包括自底座向頂端依次變細(xì)的中間部分(12)和接頭部分(13)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于過濾開槽雙面研磨機(jī)漿料的裝置，其特征在于：所述下接頭(4)中部設(shè)有通孔(43)，上接頭(1)中部設(shè)有通孔(14)，兩通孔對接連通，過濾網(wǎng)(3)置于兩通孔對接處。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于過濾開槽雙面研磨機(jī)漿料的裝置，其特征在于：還包括與過濾網(wǎng)(3)相匹配的墊圈(2)，所述上接頭(1)的底面設(shè)有凹槽(15)，所述墊圈(2)部分收容于凹槽(15)內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于過濾開槽雙面研磨機(jī)漿料的裝置，其特征在于：所述墊圈(2)為環(huán)形，過濾網(wǎng)(3)收容于墊圈(2)內(nèi)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于過濾開槽雙面研磨機(jī)漿料的裝置，其特征在于：所述過濾網(wǎng)(3)的材質(zhì)為不銹鋼，規(guī)格為140～280目，厚度為0.2～0.6mm。