[實用新型]銅工藝設備

有效

• 申請號: 200920076205.2
• 申請日: 2009-06-12
• 公開（公告）號: CN201466007U
• 公開（公告）日: 2010-05-12
• 發明（設計）人: 曾玉帆
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/768
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種銅工藝設備，包括反應腔體、連接至反應腔體的水流測量計、連接至反應腔體的進氣管；所述水流測量計連接有電纜接頭，所述電纜接頭連接有兩條連接線，所述兩條連接線用于控制水流測量計測量反應腔體輸送過水流測量計的水流量；其特征在于，還包括：

連接于水流測量計的水流閥；

水流閥控制單元，連接至該水流閥，用于控制該水流閥連接和斷開；

水流測量計控制單元，連接有所述兩條連接線，用于控制所述兩條連接線彼此短路。

2.如權利要求1所述的設備，其特征在于，還包括提示單元，用于發出提示水流閥斷開和連接的提示信息。

3.如權利要求1所述的設備，其特征在于，還包括連接于進氣管的進氣管閥門；以及

進氣管閥門控制單元，連接至進氣管閥門，用于在水流閥斷開時，控制進氣管閥門斷開。

4.如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述水流閥為電子水流閥。

5.如權利要求1所述的設備，其特征在于，所述進氣管閥門為氣動閥門。