[實用新型]探針卡保護裝置有效
| 申請號: | 200920076028.8 | 申請日: | 2009-06-09 |
| 公開(公告)號: | CN201508366U | 公開(公告)日: | 2010-06-16 |
| 發明(設計)人: | 劉鐵;賈珂;劉春梅;吳俊 | 申請(專利權)人: | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號: | G01R1/02 | 分類號: | G01R1/02;G01R1/073 |
| 代理公司: | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李時云 |
| 地址: | 20120*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 探針 保護裝置 | ||
1.一種探針卡保護裝置,包括用于扣住探針卡上所有探針的探針保護蓋,其特征在于,所述探針保護蓋上安裝有卡扣,所述探針卡上對應于所述卡扣的位置設有卡扣基座,通過所述卡扣和卡扣基座的連接將所述探針保護蓋固定于探針卡上。
2.如權利要求1所述的探針卡保護裝置,其特征在于,所述卡扣基座通過粘合材料固定于所述探針卡上。
3.如權利要求2所述的探針卡保護裝置,其特征在于,所述粘合材料為泡沫膠。
4.如權利要求1所述的探針卡保護裝置,其特征在于,所述卡扣通過螺母固定于所述探針保護蓋上。
5.如權利要求1所述的探針卡保護裝置,其特征在于,所述卡扣基座的高度小于所述探針的長度。
6.如權利要求1所述的探針卡保護裝置,其特征在于,所述卡扣為兩個或兩個以上,所述探針卡上固定的卡扣基座與所述卡扣的數量相等。
7.如權利要求6所述的探針卡保護裝置,其特征在于,所述探針保護蓋上的卡扣為兩個,安裝于所述探針保護蓋的對角位置。
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