[實用新型]機械手搬運的濕法刻蝕槽式機臺無效
| 申請號： | 200920074713.7 | 申請日： | 2009-11-24 |
| 公開（公告）號： | CN201545912U | 公開（公告）日： | 2010-08-11 |
| 發明（設計）人： | 潘嘉;趙曉亮;馮建 | 申請（專利權）人： | 上海華虹NEC電子有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/08 | 分類號： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 上海浦一知識產權代理有限公司 31211 | 代理人： | 張驥 |
| 地址： | 201206 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 機械手 搬運 濕法 刻蝕 機臺 | ||
【權利要求書】：
1.一種機械手搬運的濕法刻蝕槽式機臺，包括處理槽、機械手，其特征在于：所述處理槽內設置硅片翻轉裝置。
2.根據權利要求1所述的機械手搬運的濕法刻蝕槽式機臺，其特征在于：所述硅片翻轉裝置包括夾子、馬達傳動系統，夾子設置于處理槽內，馬達傳動系統設置于處理槽外，馬達傳動系統控制夾子的運動。
3.根據權利要求2所述的機械手搬運的濕法刻蝕槽式機臺，其特征在于：所述處理槽底部設置有位置確認傳感器，位置確認傳感器將信號傳遞至馬達傳動系統。
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