[實用新型]掩膜版移載機

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920073980.2
• 申請日: 2009-06-01
• 公開（公告）號: CN201413817Y
• 公開（公告）日: 2010-02-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙晨暉
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/00;B08B5/02;G03F1/00
• 代理公司: 上海浦一知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 劉昌榮

1.一種掩膜版移載機，包括運輸盒支架和氮氣槍，其特征是，還包括運輸盒支架底座、導(dǎo)軌和離子發(fā)生器；

所述運輸盒支架底座為長方體結(jié)構(gòu)，其上表面具有四條導(dǎo)軌，每條導(dǎo)軌從上表面正中心延伸至上表面的一個頂角；

所述運輸盒支架包括四個夾持結(jié)構(gòu)，每個夾持結(jié)構(gòu)可移動地固定于一條導(dǎo)軌上；

所述氮氣槍同時連接氮氣發(fā)生器和離子發(fā)生器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版移載機，其特征是，所述運輸盒支架底座的上表面為正方形。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版移載機，其特征是，所述離子發(fā)生器為正、負(fù)離子發(fā)生器。